Đầu dò Unity

Unity là đầu dò mang tính đột phá được thiết kế nhằm đẩy nhanh tốc độ phân tích nguyên tố và mở ra các khả năng mới trên Kính hiển vi điện tử quét (SEM). Đây là đầu dò Điện tử tán xạ ngược & Tia X kết hợp Tán xạ năng lượng tia X (EDS) đầu tiên trên thế giới, cung cấp thông tin phân tích nguyên tố tích hợp, mạnh mẽ với tốc độ chưa từng có.

• Lập bản đồ toàn bộ mẫu chỉ trong vài phút

• Phân tích các mẫu nhạy cảm (dễ hư hỏng)

• Lập bản đồ và định lượng các nguyên tố vết

• Đạt độ phân giải dưới 10 nm

Tại sao nên chọn Unity?

Thiết kế đổi mới của Unity tích hợp cả cảm biến điện tử tán xạ ngược và cảm biến tia X trong một khối duy nhất, được đặt ở vị trí chiến lược ngay bên dưới cực từ nhằm tối đa hóa khả năng thu nhận tín hiệu, đồng thời triệt tiêu hiệu ứng bóng râm từ các mẫu chưa được đánh bóng.
Nhờ áp dụng những tiến bộ mới nhất trong công nghệ Tán xạ năng lượng tia X (EDS)—bao gồm hệ thống điện tử siêu tốc và các thuật toán xử lý phổ nâng cao—hệ thống Unity BEX/EDS thiết lập một chuẩn mực mới cho phân tích nguyên tố trong SEM. Với độ nhạy tăng cao và tốc độ nhanh hơn tới 100 lần so với các hệ thống truyền thống, Unity cho phép phân tích các mẫu nhạy cảm, bề mặt gồ ghề và các nguyên tố vết (> 0.1 wt%), tất cả đều ở điều kiện chụp ảnh SEM tiêu chuẩn.
Unity là đầu dò kết hợp Điện tử tán xạ ngược và Tia X (BEX) đầu tiên từ trước đến nay trong Kính hiển vi điện tử quét (SEM), được thiết kế để khắc phục một số hạn chế cố hữu của kỹ thuật Tán xạ năng lượng tia X (EDS) truyền thống và chụp ảnh SEM. Mặc dù EDS là kỹ thuật tiêu chuẩn để phân tích nguyên tố trong SEM, nó bị cản trở bởi hai thách thức chính: cường độ tia X vốn dĩ rất thấp—yếu hơn khoảng 1.000 lần so với điện tử—và vị trí của đầu dò Silicon Drift (SDD) nằm tương đối xa mẫu, làm giảm độ nhạy. Hơn nữa, các đầu dò EDS thường có góc thu nhận thấp, chỉ khoảng 30 độ, gây ra hiệu ứng bóng râm trên các mẫu gồ ghề, làm hạn chế hơn nữa hiệu quả của chúng.

Unity giải quyết những hạn chế này bằng cách kết hợp các cảm biến Điện tử tán xạ ngược và Tia X ngay bên dưới cực từ, đặt cực kỳ gần mẫu. Bước đột phá này làm tăng đáng kể độ nhạy tia X và mở ra hàng loạt khả năng mới cho người dùng SEM. Việc tích hợp các cảm biến BSE cũng rất quan trọng, vì tín hiệu BSE đóng vai trò then chốt trong việc tạo ra hình ảnh sắc nét, chi tiết và cung cấp thông tin tương phản bổ sung theo số hiệu nguyên tử.
Công nghệ tiên tiến này cho phép ghi hình nguyên tố thời gian thực, cách mạng hóa quy trình chụp ảnh SEM. Unity cải thiện cả độ nhạy và tốc độ phát hiện tia X lên ít nhất 10 lần, cho phép phân tích nguyên tố nhanh hơn và chính xác hơn. Unity hoạt động đồng bộ hoàn hảo với các đầu dò EDS Ultim Max Infinity để mang lại hiệu suất phân tích nguyên tố tốt nhất có thể trong SEM, vượt trội về tốc độ, độ nhạy và độ chính xác định lượng. Đầu dò mở ra cánh cửa cho các ứng dụng mới bằng cách vượt qua các rào cản truyền thống, chẳng hạn như khả năng phát hiện tín hiệu từ các lỗ hổng, bề mặt gồ ghề và các vật liệu cực kỳ nhạy cảm yêu cầu liều lượng điện tử thấp. Bằng cách giải quyết những thách thức này, Unity thiết lập một tiêu chuẩn mới cho chụp ảnh SEM và mở rộng khả năng phân tích vật liệu nâng cao.