Phổ tán xạ bước sóng tia X
WDS là một phương pháp độ phân giải cao sử dụng tinh thể để nhiễu xạ tia X về mặt vật lý và đo lường chúng với khả năng phân biệt năng lượng rất chính xác.Theo truyền thống, phương pháp này cho phép:Tách các đỉnh phổ chồng lấp gần nhauĐịnh lượng các nguyên tố vết và nguyên tố phụPhân tích định lượng độ chính xác caoLập bản đồ nguyên tố độ phân giải caoTuy nhiên, các hệ thống WDS có đặc điểm:Phức tạp khi sử dụngChậm (thu thập dữ liệu tuần tự)Đắt đỏ trong việc mua sắm và bảo trìBị giới hạn trường nhìn khi lập bản đồWDS vẫn giữ nguyên giá trị ở những nơi yêu cầu giới hạn phát hiện thấp nhất và khi thời gian thu thập dữ liệu ít quan trọng hơn.