Phổ nhiễu xạ điện tử tán xạ ngược
EBSD là kỹ thuật đặc tính hóa vật liệu dựa trên kính hiển vi điện tử quét (SEM).
Trong EBSD, chùm điện tử quét qua bề mặt của mẫu tinh thể được đặt nghiêng;
các điện tử tán xạ (nhiễu xạ) tại mỗi điểm tạo thành một giản đồ nhiễu xạ, giản
đồ này được ghi nhận và phân tích bằng phần cứng và phần mềm chuyên dụng.
Tại mỗi điểm, quá trình chỉ số hóa cung cấp thông tin về pha và định hướng tinh
thể, từ đó tổ chức vi mô có thể được tái tạo lại một cách hiệu quả. Điều này cho
phép đặc tính hóa toàn diện các đặc tính vi mô của mẫu. Kỹ thuật EBSD hiện nay
diễn ra nhanh chóng và hoàn toàn tự động, trở thành một công cụ mạnh mẽ
trong nhiều ngành công nghiệp và lĩnh vực nghiên cứu, như được hiển thị ở bảng
bên dưới.Hệ thống AZtec EBSD của Oxford Instruments kết hợp tốc độ và độ nhạy của đầu dò EBSD tích hợp "tất cả trong một" duy nhất trên thế giới Symmetry S3, hiệu suất phân tích vượt trội của phần mềm thu nhận dữ liệu AZtecHKL, cùng khả năng xử lý dữ liệu mạnh mẽ, hiện đại của AZtecCrystal để tạo ra công cụ phân tích EBSD hàng đầu thị trường.EBSD dùng để làm gì?EBSD là một kỹ thuật rất đa năng, cung cấp phong phú các thông tin về tổ chức vi mô ở nhiều cấp quy mô khác nhau, bao gồm phân bố tỷ lệ pha, cấu trúc hạt, mật độ/phân bố biên giới hạt, sự phân bố ứng suất/biến dạng và hướng ưu tiên tinh thể. Điều này giúp EBSD trở thành một công cụ đặc tính hóa mạnh mẽ trong nhiều lĩnh vực nghiên cứu và ngành công nghiệp khác nhau, như được thể hiện ở bảng bên dưới.
