Đầu dò SDD Ultim Extreme Infinity
Bắt đầu từ cấp độ nano để khám phá tiềm năng vô tận!
Ultim Extreme ∞ ("Infinity") là giải pháp đột phá dành cho FEG-SEM độ phân giải siêu cao. Đầu dò độc đáo này cho phép thu thập dữ liệu EDS ở điện áp gia tốc rất thấp (ví dụ: 1–3 kV) và khoảng cách làm việc (WD) rất ngắn, đáp ứng các điều kiện cần thiết để phân tích nguyên tố vật liệu nano và bề mặt ở độ phân giải SEM cao nhất. Độ nhạy tối đa được đảm bảo nhờ các giải pháp công nghệ đặc biệt như: cảm biến dạng hình học đặc biệt, thiết kế không cửa sổ, đặt cảm biến cực gần mẫu, bẫy electron nhỏ và góc hứng cực lớn.
Ultim Extreme Infinity mang lại các giải pháp vượt xa phân tích vi mô và nano thông thường:
- Hiệu năng đảm bảo đã được kiểm tra khi lắp đặt, vượt xa các thông số kỹ thuật tiêu chuẩn của bất kỳ đầu dò nào khác.
- Độ nhạy cao nhất được đảm bảo nhờ các giải pháp công nghệ đặc biệt như: cảm biến dạng hình học đặc biệt, thiết kế không cửa sổ, cảm biến đặt cực gần mẫu, bẫy electron nhỏ và góc hứng cực lớn. Góc hứng gấp 7–8 lần so với đầu dò EDS thông thường diện tích 100 mm².
Hiệu năng vượt trội
Đầu dò EDS không cửa sổ duy nhất đạt hiệu năng xuất sắc ở mức năng lượng thấp, độ phân giải đảm bảo tại CK là 46 eV hoặc tốt hơn ở mọi tốc độ đếm lên đến 50.000 cps.
Phân tích đặc tính xuất sắc ở độ phân giải không gian cao
Độ phân giải phổ ở mức năng lượng thấp xuất sắc đặc biệt quan trọng khi phân tính mẫu ở điện áp rất thấp (kV thấp). Việc xử lý dữ liệu bằng TruMap có thể bóc tách các trường hợp chồng phổ giữa Si L/Nb M và Mo M.
Giải quyết các thách thức khó hơn với Tru-Q IQ
Mang lại các năng lực mới khi giải quyết những trường hợp chồng phổ phức tạp nhất hoặc hiển thị thông tin các nguyên tố vết.
Phân tính đặc tính nano nhanh nhất và chính xác nhất
Sự gia tăng đáng kể tín hiệu nguyên tố nhẹ cho phép thu thập dữ liệu nhanh chóng và xử lý dữ liệu theo thời gian thực.
Ghi ảnh độ phân giải nano và phân tích nguyên tố ở cùng điều kiện (WD, dòng chùm tia, kV)
Dựng bản đồ các đặc trưng kích thước nhỏ, cường độ thấp ở ngay điều kiện ghi ảnh cần thiết để quan sát cấu trúc.
Độ nhạy với nguyên tố nhẹ và phân tích các vật liệu nhạy với chùm electron
Phép đo với Extreme Infinity mang lại khả năng phát hiện ở tầm cao mới đối với các nguyên tố như nitơ.
