Đầu dò WDS

Phổ tán sắc bước sóng (WDS) và Phổ tán sắc năng lượng (EDS) từ lâu đã là hai phương pháp chính được sử dụng cho phân tích vi mô tia X trong kính hiển vi điện tử quét (SEM). Trong lịch sử, WDS mang lại độ phân giải năng lượng vượt trội và giới hạn phát hiện thấp hơn — khiến nó trở thành phương pháp được ưu tiên để xử lý vấn đề chồng lấp đỉnh phổ, phân tích nguyên tố nhẹ và định lượng nguyên tố vết.
Tuy nhiên, những tiến bộ trong công nghệ đầu dò, linh kiện điện tử và xử lý phổ đồng nghĩa với việc EDS hiện đại ngày nay có thể thực hiện nhiều tác vụ từng chỉ dành riêng cho WDS — nhanh hơn, đơn giản hơn và với chi phí thấp hơn nhiều.

EDS hiện đại đã thay đổi mạnh mẽ với những cải tiến đột phá như:

• Các đầu dò SDD diện tích lớn cho tốc độ đếm cao
• Xử lý xung theo phương pháp lấy mẫu kỹ thuật số
• Các công nghệ mới trong xử lý phổ và phân tích định lượng bao gồm:

○ Trình xử lý hợp nhất Tru-Q kết hợp nhiều thuật toán tiên tiến — trừ phông nền FLS, xác định đặc tính đỉnh QCAL, hiệu chỉnh nền mẫu XPP, dự đoán dồn xung PPC, và định danh nguyên tố dựa trên đỉnh AutoID
○ Trình xử lý hợp nhất Tru-Q IQ mới nhất giữ nguyên mọi ưu điểm của Tru-Q — nhưng bổ sung thêm một năng lực then chốt mới:
○ Khác với các phương pháp trước đây vốn sử dụng mô hình trung bình theo dòng đầu dò, TruQ-IQ đo đạc và tích hợp toàn bộ đặc tính phổ thực tế của từng đầu dò riêng biệt
○ Hiệu chuẩn theo từng đầu dò cho phép khớp đỉnh phổ chính xác hơn, bóc tách sạch các đường phổ chồng lấp, cải thiện độ nhạy với nguyên tố vết và mang lại kết quả định lượng ổn định từ phân tích ở điện áp thấp cho đến tốc độ đếm tiến sát 1 triệu cps.
○ Bằng cách hợp nhất hiệu năng phần cứng với mô hình hóa riêng cho từng đầu dò, Tru-Q-IQ mang lại một chuẩn mực mới về độ chính xác EDS tự động theo thời gian thực — điều mà trước đây chỉ có thể đạt được thông qua sự tối ưu hóa thủ công của các chuyên gia
Giờ đây, EDS có thể đạt được phân tích định lượng nhanh chóng, đáng tin cậy và chính xác trên các nguyên tố chính, nguyên tố phụ và nguyên tố vết, bao gồm cả những trường hợp chồng phổ phức tạp.