Phần mềm phân tích màng mỏng Aztec LayerProbe
LayerProbe là công cụ phần mềm vượt trội dành cho phân tích màng mỏng trên kính hiển vi điện tử quét (SEM). Là một tùy chọn nâng cao cho hệ thống vi phân tích AZtec EDS, LayerProbe mang lại tốc độ nhanh hơn, chi phí tối ưu hơn và độ phân giải cao hơn so với các thiết bị đo màng mỏng chuyên dụng.
LayerProbe phân tích thành phần và độ dày của các lớp bề mặt và cận bề mặt của mẫu. Là một công cụ không phá hủy dựa trên công nghệ vi phân tích đã được khẳng định, LayerProbe tối ưu chi phí hơn, có độ phân giải cao hơn và chính xác hơn so với các thiết bị đo màng chuyên dụng.
LayerProbe bổ sung cho thông tin nguyên tố và pha thu được từ phân tích EDS truyền thống bằng cách tính toán chính xác thành phần và độ dày của từng lớp riêng biệt bên dưới bề mặt.
- Phân tích màng mỏng trên SEM
- Đặc tính hóa nhiều lớp nằm dưới bề mặt mẫu
- Phân tích không phá hủy mẫu
- Đo độ dày và thành phần của nhiều lớp trong khoảng từ 2 nm đến 2000 nm
- Độ phân giải không gian (độ phân giải ngang) lên tới 200 nm
- Dễ dàng thiết lập cho người dùng vận hành thường quy; là một tiện ích mở rộng tối ưu chi phí cho hệ thống SEM hoặc FIB-SEM của bạn
- Tiện ích mở rộng cho AZtecLive: tích hợp mượt mà và dễ dàng nâng cấp bổ sung cho các hệ thống hiện có
