Kính hiển vi điện tử quét (SEM) là một công cụ mạnh để khảo sát tính chất bề mặt vật liệu trong lĩnh vực khoa học vật lý cũng như khoa học sự sống. Tùy vào mục đích của người dùng mà có thể sử dụng máy SEM để thu được những tín hiệu mong muốn. Trong bài viết này, chúng tôi nhấn mạnh đến ứng dụng phân tích cấu trúc bề mặt liệu và xác định độ dày lớp vật liệu, lớp mạ, lớp phủ, màng mỏng bằng cách chụp ảnh mặt cắt.
Hình 1: Mẫu Fe3O4
Ảnh phóng đại trong SEM được tạo ra bằng phương pháp quét, không dùng phóng đại bằng thấu kính như kính hiển vi quang học hay kính hiển vị điện tử truyền qua. Dòng kính hiển vi điện tử cho độ sâu tiêu cự khá tốt. Ảnh chụp được từ bề mặt mẫu có chỗ cao, chỗ thấp vẫn thu được rõ nét và đồng đều ở các vị trí (ảnh có độ sâu trường nhìn tốt). Vì vậy, sử dụng kính hiển vi điện tử cho phép quan sát rõ nét hơn về hình thái học bề mặt mẫu vật với độ phân giải và độ phóng đại cao cũng như có thể tính được kích thước hạt của vật liệu.
Hình 2: Mẫu TiO2 pha tạp Nb phủ lớp bạc
Do trong ảnh điện tử tán xạ ngược (BSE), sự khác nhau về số nguyên tử trung bình của thành phần cấu tạo sẽ cho độ tương phản khác nhau nên những vùng mẫu có các thành phần nguyên tố khác nhau thì dễ dàng nhận ra trên ảnh (nguyên tố nào có số nguyên tử trung bình càng cao thì khả năng tán xạ ngược càng lớn, do đó hình ảnh thu được càng sáng và ngược lại). Từ đó bằng cách chụp mặt cắt của vật liệu, ta hoàn toàn có thể xác định được độ dày lớp phủ, lớp mạ, độ dày của vật liệu bằng đầu dò BSE. Trên hình 2, vùng sáng là vùng giàu bạc với độ dày khoảng 98nm, vùng tối là vùng giàu Titan.
Hiện nay, Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam đã khai trương phòng thí nghiệm dịch vụ (service lab) với chức năng cung cấp các dịch vụ phân tích cấu trúc bề mặt vât liệu, đo chiều dày của lớp phủ vật liệu sử dụng kính hiển vi điện tử quét (SEM) cũng như định tính và định lượng về thành nguyên tố của mẫu bằng hệ phân tích phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX). Phòng thí nghiệm được trang bị các thiết bị hiện đại và tân tiến, phần mềm chuyên dụng mạnh mẽ cùng với đội ngũ kỹ sư và kỹ thuật viên chuyên nghiệp được đào tạo chính hãng luôn sẵn sàng tiếp nhận các yêu cầu và cam kết mang lại kết quả sớm nhất, chính xác nhất cho quý khách hàng.
 |
 |
|
Kính hiển vi điện tử quét để bàn Hitachi TM4000/TM4000Plus
|
Hình 3: Các loại kính hiển vi điện tử quét tại phòng thí nghiệm dịch vụ của Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam
**************************************************************************
Để được tư vấn và biết thêm thông tin chi tiết, xin vui lòng liên hệ:
Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam
Email: info@redstarvietnam.com
