 |
Các đặc điểm
|
Điện áp gia tốc thấp giảm hư hại khi chuẩn bị mẫu.
Chuẩn bị mẫu màng mỏng chính xác nhờ ứng dụng bằng sáng chế Micro-sampling của Hitachi (*).
Bộ giữ mẫu Tương thích (*) với máy SEM, TEM và STEM của Hitachi cho phép chuyển mẫu nhanh chóng và tạo ảnh cũng như phân tích sâu hơn.
* Tùy chọn
** Hình của thiết bị trong ảnh bao gồm các tùy chọn
|
Thế gia tốc |
2 đến 40 kV |
|
|
Dòng điện tối đa của chùm tia |
60 nA hoặc cao hơn |
|
|
Mật độ dòng điện tối đa của chùm tia |
50 A/cm2 hoặc cao hơn |
|
|
Độ phân giải SIM |
6 nm hoặc tốt hơn |
|
|
Độ phóng đại |
60× đến 300.000× |
|
|
Hệ quang học Ion |
Nguồn Ion |
Gali |
|
Khẩu độ giới hạn chùm tia |
Thay đổi tự động bằng motor |
|
|
Thấu kính / Bộ làm lệch |
Thấu kính tĩnh điện 2-lớp / loại tĩnh điện 8 cực |
|
|
Trang bị |
2 nguồn khí (tungsten và cacbon) |
|
|
Tính năng chế tạo |
Tạo hộp và quét mô hình có định hướng |
|
|
Thu ảnh |
Tối đa 2.000 × 2.000 pixel |
|
|
Hệ chân không |
Cột súng |
Bơm Ion × 2 |
|
Buồng mẫu |
TMP × 1 |
|
|
Chân không sơ cấp |
Bơm dầu × 2 (tùy chọn bơm cuộn không dầu) |
|
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
