Phủ mẫu là cần thiết để làm tăng chất lượng hình ảnh SEM. Khác với các loại máy phủ thông thường thì tất cả các bộ phận của Leica EM ACE có thể tháo rời để vệ sinh hoặc trong trường hợp cần cực kì sạch có thể thay thế phụ kiện mới. Ví dụ như cửa kính lớn có thể tháo rời với bề mặt phẳng dễ lau chùi. Tấm bảo vệ bên trong, màn chập, đế và nguồn phát cũng có thể dễ dàng tháo rời để làm sạch. Hướng dẫn dưới đây mô tả quy trình làm vệ sinh LEICA EM ACE cũng như cách tháo rời các bộ phận bên trong.
Quy trình vệ sinh
Các dụng cụ vệ sinh cần chuẩn bị:
Cảnh báo: không chạm hoặc lại gần các bộ phận điện
Bột tẩy có thể làm oxy hóa và acetone có thể hòa tan lớp cách điện
.
1. Vệ sinh bằng hỗn hợp vệ sinh, đánh bóng (sử dụng nước) hoặc kem đánh bóng kim loại
2. Không xịt bằng nước – sử dụng khăn ẩm, không bụi để loại bỏ kem và bột dư
3. Cảnh báo: không chạm hoặc lại gần các bộ phận điện
4. Sau khi vệ sinh, khởi động và hút chân không, cần đạt được chân không mức 10-5 bar trong khoảng 10 phút. Nếu không đạt được chân không, xả khí và vệ sinh lại bằng acetone. Khăn lau để lại vệt đen nào. Cảnh báo: không chạm hoặc lại gần các bộ phận điện
5. Xả khí và lắp lại tấm bảo vệ, màn chập và đế
Thông thường, chỉ cần vệ sinh cửa kính, tùy thuộc vào độ dày phủ, sau mỗi 5 đến 15 lần phủ. Tấm bảo vệ, đặc biệt khi phủ thường xuyên bằng một nguyên tố, không cần vệ sinh thường xuyên. Khi vật liệu phủ bắt đầu tạo thành lớp trên buồng thì nên tháo tấm bảo vệ và vệ sinh.
Mọi loại phù hợp với kim loại. Scoth-brite, kem đánh bóng kim loại, bột vệ sinh
Không sử dụng chất ăn mòn mạnh (như Scotch-brite) lên cửa kính vì có thể gây xước và hở chân không
Rửa các bộ phận bằng xà phòng và xịt nước cất rồi để khô là cách đơn giản để loại bỏ hóa chất đánh bóng còn dư. Có thể sử dụng Isopropanol hoặc Ethanol để lau lần cuối
