Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam

Icons giỏ hàng Giỏ hàng 0
Tổng : 0 đ
Trang chủ  /  Tin tức  /  Góc kiến thức

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) căn bản

8.043 lượt - 06-07-2016, 4:29 pm

1.  Giới thiệu chung về kính hiển vi điện tử (SEM)

● SEM: Kính hiển vi điện tử quét

SEM là một loại kính hiển vi điện tử sử dụng kỹ thuật quét chùm tia điện tử hội tụ trên bề mặt mẫu vật để tạo ra hình ảnh.

Các tín hiện điện tử tương tác với bề mặt mẫu, sản sinh ra những tín hiệu khác nhau, nhưng tín hiệu này sẽ cung cấp những thông ti sau:

- Hình thái bề mặt

- Cấu trúc thành phần

- Cấu trúc tinh thể

 

Kính hiển vi điện tử quét

 

Hình ảnh tổng quan của kính hiển vi điện tử quét (SEM)

 

 

SEM được sự dụng như là một công cụ phục vụ cho công tác nghiên cứu, phát triển và quản lý chất lượng trong nhiều lĩnh vực khác nhau:

 

Ảnh chụp mẫu tảo cát bằng kính hiển vi điện tử quét

 

Ảnh chụp mẫu tảo cát bằng kính hiển vi điện tử quét

 

 

● So sánh kính hiển vi điện tử quét (SEM) với kính hiển vi quang học (OM)

 

 

 

2. Nguyên lý cơ bản về kính hiển vi điện tử quét (SEM)

● Tín hiệu sinh ra từ bề mặt mẫu

Khi chiếu xạ xuống bề mặt mẫu bằng chùm tia điện tử sẽ sinh ra các tín hiệu điện tử thứ cấp (SE), điện tử tán xạ ngược (BSE) và các tín hiệu khác.

Kính hiển vi điện tử quét (SEM) chủ yếu sử dụng tín hiệu SE và BSE để tạo nên hình ảnh.

 

Nguyên lý cơ bản về kính hiển vi điện tử quét (SEM)

 

 

● Phát xạ tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE) từ bề mặt mẫu

 

 

Phát xạ tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE) từ bề mặt mẫu

 

 

● Đặc tính của tín hiệu điện tử thứ cấp (SE) và điện tử tán xạ ngược (BSE)

 

 

 

 

Mẫu: hạt BaCO3 và TiO2

Thế gia tốc: 3.0 kV

Độ phóng đại: 50 nghìn lần

 

 

● Lợi ích của thế gia tốc thấp (low kV)

Thu được tông tin rõ ràng về cấu trúc bề mặt mẫu vật bằng kỹ thuật sử dụng thế gia tốc thấp 

 

 Mẫu gia tốc

 

 

● Sự khác biệt trong tán xạ điện tử trên bề mặt mẫu

 

 

 

 

● Thế gia tốc – Yếu tố căn bản để chụp được ảnh chất lượng cao

 

 

 

● Cấu trúc và quy trình vận hành của kính hiển vi điện tử quét (SEM)

 

● Chùm tia điện tử được phát ra và gia tốc bởi một nguồn phát điện tử

● Thấu kính hội tụ điều khiển dòng đầu dò và góc phát xạ

● Vật kính hội tụ chùm tia trên bề mặt mẫu

● Đầu dò có chức năng thu tín hiệu điện tử phát xạ

Do vị trí phát xạ được dịch chuyển bởi bộ điều hướng nên mức độ phân bố cường độ phát xạ điện tử được thu và tạo ra hình ảnh.  

 

● Các loại nguồn phát điện tử

 

 

 

● Các loại thấu kính 

 

 Các loại thấu kính

 

 ● Dải sản phẩm kính hiển vi điện tử quét của HITACHI

 

 

 

 

3. Ứng dụng của các loại kính hiển vi điện tử quét (SEM)

 

Kính hiển vi điện tử quét biến đổi áp suất (VP-SEM) SU3500

 

Súng điện tự: phát xạ nhiệt

Vật kính: Out Lens

● Quan sát và phân tích các kể cả mẫu không dân điện

● Chân không thấp (6~650Pa)

● Buồng mẫu kiểu kéo ra (cho mẫu kích thước lớn)

● Tích hợp được các đầu dò EDS, EBSD, WDS, CL

● Phân giải: 3.0nm tại 30kV và 7.0nm tại 3kV

 

 

Mẫu: sợi quang

 

 

Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường nhiệt (Schottky FE-SEM) SU5000

Súng điện tự: phát xạ Schottky

Vật kính: Out Lens

● Dòng dò tối đa: 200 nA

● Quan sát và phân tích cả mẫu không dẫn điện

● Chân không thấp (10 ~ 300 Pa *chọn thêm)

● Buồng mẫu kiểu kéo ra (cho mẫu kích thước lớn)

● Tích hợp được với các loại đầu dò EDS, EBSD, WDS và CL

● Phân giải: 1.2nm tại 30kV và 3.0nm tại 1kV

 

 

Mẫu: Thép

 

 

 

Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường lạnh (Cold FE-SEM) SU8200

Súng điện tự: phát xạ trường lạnh

Vật kính: Semi-in-Lens

● 3 đầu dò SE cung cấp thông tin ảnh đa dạng

● Thế gia tốc cực thấp ~10V, quan sát kết hợp tín hiệu SE/BSE hàng đầu

● Kích thước mẫu tối đa đến 200mm (đường kính)

● Phân giải: 0.8nm tại 15kV và 1.1nm tại 1kV

 

 

 

Mẫu: Mesoporous silica

 

 

Kính hiển vi điện tử quét phân giải siêu cao (Ultra High Resolution FE-SEM) SU9000

 

Súng điện tự: phát xạ trường lạnh

Vật kính: In Lens

● Trang bị vật kính kiểu In Lens đọc nhất trên thế giới

● Độ phân giải cao nhất trên thế giới

● Phân giải: 0.4nm tại 30kV và 1.2 tại 1kV

 

 

 

 

Mẫu: Vật liệu chế tạo pin mặt trời

 

4. Kết luận

Có các công nghệ và nguyên lý làm việc khác nhau giữa các loại kính hiển vi điện tử quyét (SEM) (ví dụ như có các nguồn phát điện tử thấu kính khác nhau). Mỗi loại kính hiển vi điện tử quét (SEM) có những đặc tính và mục sử dụng chuyên biệt để phù hợp với từng loại mẫu và ứng những khác nhau.

Chúng tôi khuyến cáo người dùng lựa chọn loại kính SEM phù hợp nhất với mẫu thực tế của mình.

Chúng tôi tin rằng cần nắm được và hiểu rõ thông tin ứng dựng trước khi quyết định lựa chọn loại kính nào để sử dụng hiệu quả nhất. Chúng tôi luôn sẵn sàng để cùng trao đổi với khách hàng.

Tin liên quan