● Đầu phát điện tử loại CFE công suất cực kỳ sáng, dòng dò ổn định cho độ phân giải cao, điện áp quan sát thấp và phân tích nguyên tố.
● Độ phân giải cao (1.1 nm / 1 kV, 0.8 nm / 15 kV)
● Đầu phát điện tử hoạt động trong môi trường chân không cao và khả năng buồng mẫu bẩn ở mức thấp nhất
● Hệ thống lọc cho đầu dò TOP có thể tùy chọn để đạt được độ tương phản tốt nhất cho các vật liệu khác nhau
|
SU8220 |
SU8230 |
SU8240 |
|
Đầu dò SE*1 |
0.8 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm, Độ phân giải 270 kx) |
|||
Điện áp Landing |
0.01-30 kV |
|||
Độ phóng đại |
20-1,000,000x*3 |
|||
Điều khiển bàn mẫu |
5- trục dẫn động |
5- trục dẫn động |
5- trục dẫn động |
|
Dẫn động |
X |
0~50mm |
0~110mm |
0~110mm |
Y |
0~50mm |
0~110mm |
0~80mm |
|
R |
360° |
|||
Z |
1.5~30mm |
1.5~40mm |
1.5~40mm |
|
T |
-5~70° |
|||
Độ lặp lại bàn mẫu |
- |
- |
±0.5µm hoặc nhỏ hơn |
*1:Hạt nhỏ nhất được đo trên ảnh SEM với mẫu của Hitachi
*2:Quan sát ở chế độ giảm tốc
*3:Độ phóng đại dựa trên kích thước hiển thị: 127 mm × 95 mm
*4:Regulus®(REGULated Ultra Stable: Bàn mẫu cao cấp của Hitachi và đã được đăng ký bởi hiệp hội HTT
ở Nhật và ở Mỹ.
Dữ liệu ứng dụng
Tạo ảnh độ phân giải cao
Độ phân giải cao cho phân tích tia X
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.