● Ảnh độ phân giải siêu cao tại thế gia tốc cực thấp (độ phân giải 1.3 nm với đầu dò SE tại thế giảm tốc 1.0 kV)
● Hệ thống tích hợp nhiều đầu dò
● Giao diện người dùng (GUI) thân thiện và màn hình hiển thị rộng giúp vận hành thuận tiện
● Nhiều phụ kiện chọn thêm đáp ứng mọi nhu cầu đặc biệt của khách hàng
Độ phân giải ảnh với đầu dò SE |
1.0 nm (Vacc 15 kV, WD=4 mm)*1 |
||
1.3 nm (điện áp landing 1kV, WD=1.5 mm)*1 |
|||
Độ phóng đại |
Chế độ phóng đại thấp |
20-2,000x (độ phóng đại trên ảnh)*2 |
|
80-5,000x (độ phóng đại trên hiển thị)*3 |
|||
Chế độ phóng đại cao |
100-800,000x (độ phóng đại trên ảnh)*2 |
||
400-2,000,000x (độ phóng đại trên hiển thị)*2 |
|||
Quang điện tử |
Súng bắn điện tử |
Nguồn phát cathode trường lạnh |
|
Thế gia tốc |
0.5 kV to 30 kV (chế độ chuẩn) |
||
Điện áp Landing |
0.1 kV to 2.0 kV (chế độ giảm tốc) |
||
Khẩu độ vật kính |
Khẩu độ vật kính(loại gia nhiệt), 4 vị trí mở có thể chọn vị trí |
||
Dịch ảnh bằng điện |
±12 µm (WD=8 mm) |
||
Bàn mẫu |
Điều khiển bàn mẫu |
Cơ cấu truyền động 3trục |
|
Cơ cấu truyền động 5 trục*4 |
|||
Truyền động |
X |
0-50 mm |
|
Y |
0-50 mm |
||
R |
360° |
||
T |
-5-70° |
||
Z |
1.5-30 mm |
||
Kích thước mẫu tối đa |
100 mm (tối đa) |
||
150 mm dia.*4 |
|||
Đầu dò |
Đầu dò SE |
Lower/Upper |
|
SE/BSE Signal Mixing Function (Upper detector) |
|||
Đầu dò BSE |
Đầu dò bán dẫn BSED*4 |
||
YAG BSED*4 |
|||
Đầu dò Electron truyền qua |
Đầu dò STEM (cho BF-STEM)*4 |
||
BF-STEM khẩu độ*4 |
|||
DF-STEM lỗ*4 |
|||
Khác |
Đầu dò phân tích phổ tán xạ năng lượng tia X*4 |
||
Faraday cup*4 |
|||
Bộ quan sát ảnh EBIC*4 |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.