SU8600 mang đến kỷ nguyên mới của kính hiển vi điện tử quét trường lạnh độ phân giải siêu cao cho dòng sản phẩm Hitachi EM lâu đời. Nền tảng CFE-SEM mang tính cách mạng kết hợp hình ảnh đa diện, tự động hóa, tăng độ ổn định của hệ thống, quy trình làm việc hiệu quả cho người dùng ở mọi cấp độ kinh nghiệm và hơn thế nữa.
Nguồn phát xạ trường lạnh độ sáng cao của Hitachi cung cấp hình ảnh có độ phân giải cực cao ngay cả ở điện áp Cực thấp.
 |
 |
|||||||||||
| Mẫu vật do Tiến sĩ Yoshihiro Kamimura cung cấp, Viện Khoa học Công nghiệp Tiên tiến Quốc gia và Công nghệ (AIST), Nhật Bản | ||||||||||||
Bên trái: Hạt Zeolit loại RHO ở kV thấp. Để tiết lộ cấu trúc bậc thang đẹp trên bề mặt, hình ảnh được thu thập ở điện áp hạ cánh 0,8 kV. Điều này cho phép nhìn rõ cấu trúc rất tốt của các bước bề mặt (hình bên phải).
Hình ảnh mặt cắt của 3D NAND;
Oxide layer and Nitride layer of capacitor are easily distinguishable in the image due to BSE detection capability.
Cross Section of 3D NAND (Acceleration Voltage: 1.5 kV)
By using new Out-Column Crystal Type BSED (OCD)*, image acquisition time was less than ONE SECOND, yet lower layer interconnect and Fin FET structure of SRAM are clearly visible.
Lower Layer Interconnect of 5 nm process SRAM (Acceleration Voltage: 30 kV, Acquisition time
* Option
The “EM Flow Creator“ software option allows users to configure repeatable SEM operation sequences.
Various SEM functions can be assembled in the EM Flow Creator’s window by a drag-and-drop method and then saved as a recipe for later use.
Once a recipe is configured, automated data collection under the set conditions can be performed with high accuracy and repeatability.
Dual monitor configuration supports a flexible and highly efficient workspace. Display and save 6 signals simultaneously in order to acquire more information in less time.
1, 2, 4 or 6 signals, including the chamber scope(*) or SEM MAP, can be displayed simultaneously on a single monitor. By adding a second screen, the dual-monitor configuration supports enhanced productivity plus expanded workspace and allows the operation panel to be customized with submenus positioned anywhere on either screen.
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
