(Regulus8220 / 8230/8240: 0,9 nm / 1 kV; Regulus8100: 1,1 nm / 1 kV)
*2: Chỉ có trong Regulus8220/8230/8240
Mẫu: Hạt vàng trên Carbon
Điện áp landing: 10 V
Chụp ảnh UHR
Mẫu: Catalyst
Điện thế gia tốc: 30 kV
Phân tích HR & LV EDX
Mẫu: Bóng thiếc
Điện áp landing: 1,5 kV
|
Regulus 8100 |
Regulus 8220 |
Regulus 8230 |
Regulus 8240 |
||
Độ phân giải SE |
0.8 nm (Vacc: 15 kV) |
0.7 nm (Vacc: 15 kV) |
||||
1.1 nm (Điện áp landing: 1 kV)*3 |
0.9 nm (Điện áp landing: 1 kV)*3 |
|||||
Thế gia tốc |
0.5~30 kV |
0.5~30 kV |
||||
Điện áp landing*3 |
0.1~2 kV |
0.01~20 kV |
||||
Độ phóng đại |
20~1,000,000 ×*4 |
20~2,000,000 ×*4 |
||||
Bàn mẫu |
Điều khiển bàn mẫu |
Động cơ 3 trục *5 |
Động cơ 5 trục |
|||
Phạm vi dịch chuyển |
X |
0~50 mm |
0~50 mm |
0~110 mm |
0~110 mm |
|
Y |
0~50 mm |
0~50 mm |
0~110 mm |
0~80 mm |
||
R |
360° |
|||||
T |
-5~70° |
|||||
Z |
1.5~30 mm |
1.5~40 mm |
||||
Độ lặp lại bàn mẫu |
- |
- |
- |
Nhỏ hơn ±0.5 µm |
*3: Quan sát ở chế độ giảm tốc chùm tia
*4: Độ phóng đại dựa trên kích thước hiển thị: 127 mm × 95 mm
*5: Động cơ 5 trục là tùy chọn cho Regulus8100
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.