Mô tả

Thông số 

Độ phân giải

SE

3nm tại 30kV (chân không cao)

10nm tại 3kV (chân không cao)

BSE

4nm tại 30kV (chân không thấp)

Độ phóng đại

×5 - ×300,000

Thế gia tốc

0.3 - 30 kV

Khoảng chân không thấp

6 - 270 Pa thay đổi trên phần mềm

Di ảnh

±50 µm ở WD = 10 mm

Kích thước mẫu tối đa

Đường kính 200 mm

Bệ mẫu

Type I

Type II

X

0 - 80 mm

0 - 100 mm

Y

0 - 40 mm

0 - 50 mm

Z

5 - 35 mm

5 - 65 mm

R

360°

360°

T

-20 - 90°

-20 - 90°

Chiều cao tối đa

35 mm ở WD = 10 mm

80 mm ở WD = 10 mm

Khu vưc quan sát

Đường kính 105 mm

Đường kính 130 mm

Động cơ

Thủ công

5 trục tiêu chuẩn

Quang điện tử

Súng bắn điện tử

Sợi tóc

Khẩu độ

Khẩu có thể thay đổi với 4 độ mở

Thế hãm

4 phần

Đầu dò

Đầu dò SE, đầu dò BSE độ nhạy cao

Vị trí phân tích

WD = 10 mm, TOA = 35°

Hiển thị

Ngôn ngữ

Tiếng anh

OS

Windows^®XP

Điều khiển

Chuột, bàn phím và cần xoay

Màn hình

LCD 19" (có thể thay đổi không báo trước)

Tự động căn chỉnh

Tự động chọn chùm tia, tự động căn chỉnh trục

Tự động hiệu chỉnh ảnh

Tự động lấy nét, tự động chỉnh méo/lấy nét, tự động tương phản và độ sáng

Lưu dữ liệu ảnh

640 × 480 pixels, 1,280 × 960 pixels, 2,560 × 1,920 pixels, 5,120 × 3,840 pixels

Lưu ảnh

Chức năng tìm kiếm / Cơ sở dữ liệu hình ảnh tích hợp với chức năng xử lý hình ảnh

Định dạng

BMP, TIFF, JPEG

Hiển thị dữ liệu tự động

Thế gia tốc, độ phóng đại, thang micron, đơn vị, số, khoảng cách làm việc, ngày/giờ, đầu dò, áp suất

Chế độ hiển thị ảnh

Toàn màn hình 1280x960

Cửa sổ 640x480px

2 cửa sổ 640x480px

Trộn tín hiệu

Hệ chân không

Vận hành

Tự động

Bơm turbo phân tử

210 L/Sec. × 1

Bơm quay

135 L/Min.(162 L/Min.with 60 Hz) × 1

Bảo vệ

Mất điện và hỏng chân không

Các chức năng phụ

Quay chiều quét

Lấy nét động/ bù nghiêng

Giám sát méo động

Chức năng in tự do

Hướng dẫn bảo dưỡng 3D

Đo đạc

Xén ảnh