● Bơm TMP tiêu chuẩn đi kèm, không dầu, tổi thiểu làm bẩn mẫu, không đòi hỏi gia nhiệt lớn hay hệ nước làm mát, do đó tiết kiệm và kinh tế
● Để hỗ trợ những người dùng chưa có kinh nghiệm, hệ thống có hướng dẫn làm việc trên màn hình hướng dẫn từng bước người sử dụng suốt quá trình thu ảnh, từ chọn chế độ chân không cho tới chụp ảnh. Tính năng đặc biệt này cho phép mọi người dùng với các mức kinh nghiệm khác nhau thu được ảnh chất lượng cao nhanh chóng
● Các công nghệ cao được tính hợp cho phép có được độ phân giải SE 3nm (chân không cao) và BSE 4nm (áp suất thay đổi)
● Để quan sát nhanh các mẫu không dẫn điện, hệ thống tối ưu chế độ áp suất biến đổi để triệt tiêu sự tích điện tích, cho điều kiện tối ưu để thu ảnh cũng như phân tích EDX *1
● Buồng và đế mẫu được thiết kế để phù hợp với mẫu có đường kính lên tới 153mm. Có thể thu ảnh và phân tích EDX đồng thời trên mẫu có độ cao lên tới 60mm tại khoảng cách làm việc 15mm
● Có thể chọn thêm ESED-II *2 nếu muốn thu ảnh SE ở chế độ VP. Đầu dò này hoàn toàn tích hợp với giao diện của SU1510 và điều khiển hoàn toàn bằng phần mềm với các tính năng tự động
*1: phân tích X-ray phân tán năng lượng (chọn thêm)
*2: đầu dò SE chân không thấp (chọn thêm)
*: khách hàng tự chuẩn bị bàn để máy
*: ảnh được giả lập, không phải ảnh thật
|
Mục |
|
Mô tả |
|
Độ phân giải |
SE |
3nm tại 30kV (chân không cao) |
|
|
BSE |
4nm tại 30kV (áp suất biến đổi) |
|
Độ phóng đại |
|
X5 – 300000x |
|
Thế gia tốc |
|
0.3 – 30kV |
|
Giải áp suất thấp |
|
6 – 270 Pa thay đổi trên phần mềm |
|
Di ảnh |
|
±50µm (WD=15mm) |
|
Kích thước mẫu tối đa |
|
Đường kính 153mm |
|
Đế mẫu |
X |
0-80mm |
|
|
Y |
0-40mm |
|
|
Z |
5-50mm |
|
|
R |
360̊ |
|
|
T |
-20 – 90̊ |
|
|
Vùng quan sát |
Đường kính 126mm |
|
|
Chiều cao tối đa |
60mm (WD = 15mm) |
|
Hệ quang điện tử |
Súng bắn điện tử |
Sợi tóc |
|
|
Khẩu độ |
5 vị trí |
|
|
Thế hãm |
Thế phần tư, có điều khiển |
|
|
Đầu dò |
Đầu dò SE Đầu dò BSE bán dẫn độ nhạy cao |
|
|
Vị trí phân tích |
Wd = 15mm, TOA = 35ᵒ |
|
Hiển thị |
Hệ điều hành |
Windows XP (có thể thay đổi không báo trước) |
|
|
Điều khiển |
Chuột, bàn phím |
|
|
Màn hình |
LCD 19" (có thể thay đổi không báo trước) |
|
|
Tự động căn chỉnh |
Tự động chọn chùm tia, tự động căn chỉnh trục |
|
|
Tự động hiệu chỉnh ảnh |
Tự động lấy nét, tự động chỉnh méo/lấy nét, tự động tương phản và độ sáng |
|
|
Lưu ảnh |
640x480px, 1280x960px 2560x1920px, 5120x3840px |
|
|
Lưu chèn |
Tìm kiếm/cơ sở dữ liệu ảnh cùng các chức năng xử lý ảnh |
|
|
Định dạng ảnh |
BMP, TIFF, JPEG |
|
|
Hiển thị dữ liệu tự động |
Thế gia tốc, độ phóng đại, thang micron, đơn vị, số, khoảng cách làm việc, ngày/giờ, đầu dò, áp suất |
|
|
Chế độ hiển thị ảnh |
Toàn màn hình 1280x960 Cửa sổ 640x480px 2 cửa sổ 640x480px Trộn tín hiệu |
|
Hệ chân không |
Hoạt động |
Hoàn toàn tự động |
|
|
Bơm turbo |
210L/sec.x1 |
|
|
Bơm quay |
135L/phút (162L/phút với điện áp tần số 60Hz) |
|
|
Hệ thống bảo vệ |
Khi lỗi nguồn hoặc chân không |
|
Các chức năng phụ |
|
Quay chiều quét |
|
|
|
Lấy nét động/ bù nghiêng |
|
|
|
Giám sát méo động |
|
|
|
chức năng in phom tự do |
|
|
|
Hướng dẫn bảo dưỡng bằng hình động |
|
|
|
Hướng dẫn sử dụng |
|
|
|
Đo đạc |
|
|
|
xén ảnh |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
