● Buồng mẫu cực lớn có thể sử dụng đồng thời mẫu có đường kính lên tới 300mm cùng các phụ kiện như EDX/WDX/EBSD. Đồng thời cũng sử dụng được
với mẫu có chiều cao lên tới 110mm
● Đế mẫu mô tơ 5 trục với khả năng xoay, nghiêng qua tâm, hệ thống điều hướng qua hình ảnh, nhớ vị trí và trở về tâm bằng click chuột
● Giao diện sử dụng được thiết kế thân thiện tương đồng với S4800, SU70 và S3400N giúp người sử dụng chuyển qua sử dụng giữa các thiết bị mà không cần phải đào tạo nhiều
● Hệ thống hiển thị cho hình ảnh thời gian thực, mật độ điểm ảnh cao, không nháy, toàn màn hình. Ngoài ra cũng cho phép hiển thị đồng thời hình ảnh từ 2 đầu dò khác nhau, chứa đựng thông tin khác nhau trong thời gian thực, cũng như trộn tín hiệu.
● Chế độ VP cho phép quan sát các mẫu không dẫn điện mà không cân phải phủ kim loại
● Đầu dò BSE bán dẫn độ nhạy cao, hoạt động ở chế độ quét nhanh. Điều này cho phép tìm vị trí cần quan sát trên mẫu lớn nhanh và thuân tiện
● Hệ thống tiêu chuẩn đi kèm bơm turbo, cho điều kiện chân không khô và sạch, tối thiểu làm bẩn mẫu. Không giống như các hệ SEM sử dụng bơm khuếch tán đòi hỏi năng lượng gia nhiệt lớn hay nước làm mát, hệ thống này là 1 SEM tiết kiệm năng lượng và kinh tế
|
Mục |
|
Mô tả |
|
Độ phân giải |
SE |
3nm tại 30kV (chân không cao) |
|
|
|
10nm tại 3kV (chân không cao) |
|
|
BSE |
4nm tại 30kV (chân không thấp) |
|
Độ phóng đại |
|
X5 – 300000x |
|
Thế gia tốc |
|
0.3 – 30kV |
|
Giải áp suất thấp |
|
6 – 270 Pa thay đổi trên phần mềm |
|
Di ảnh |
|
±50µm (WD=10mm) |
|
Kích thước mẫu tối đa |
|
Đường kính 300mm |
|
Đế mẫu |
X |
150mm |
|
|
Y |
110mm |
|
|
Z |
5 – 65mm |
|
|
R |
360̊ |
|
|
T |
-20 – 90̊ |
|
|
Vùng quan sát |
Đường kính 203mm (quay) |
|
|
Chiều cao tối đa |
110mm (WD = 10mm) |
|
|
Điều khiển đế mẫu |
5 trục gắn mô tơ điều khiển bằng máy tính |
|
Hệ quang điện tử |
Súng bắn điện tử |
Sợi tóc |
|
|
Khẩu độ |
5 vị trí |
|
|
Thế hãm |
4 phần, với nhiều mức điều khiển |
|
|
Đầu dò |
Đầu dò SE Everhart Thorley Đầu dò BSE bán dẫn độ nhạy cao, 5 vùng, có thể lựa chọn |
|
|
Vị trí phân tích |
Wd = 10mm, TOA = 35ᵒ |
|
Hiển thị |
Điều khiển |
Cần điều khiển, bàn phím và bàn điều khiển |
|
|
Màn hình |
LCD 19.1" (có thể thay đổi không báo trước) |
|
|
Tự động căn chỉnh |
Tự động chọn chùm tia, tự động căn chỉnh trục |
|
|
Tự động hiệu chỉnh ảnh |
Tự động lấy nét, tự động chỉnh méo/lấy nét, tự động tương phản và độ sáng |
|
|
Lưu ảnh |
640x480px, 1280x960px 2560x1920px, 5120x3840px |
|
|
Định dạng ảnh |
BMP, TIFF, JPEG |
|
|
Chế độ hiển thị ảnh |
Toàn màn hình 1280x960 Cửa sổ 640x480px 2 cửa sổ 640x480px Trộn tín hiệu |
|
Hệ chân không |
Hoạt động |
Hoàn toàn tự động |
|
|
Bơm turbo |
210L/sec.x1 |
|
|
Bơm quay |
135L/phút (162L/phút với điện áp tần số 60Hz) |
|
|
Hệ thống bảo vệ |
Khi lỗi nguồn hoặc chân không |
|
Các chức năng phụ |
|
Quay chiều quét, quan sát sự méo động |
|
|
|
Lấy nét động/ bù nghiêng |
|
|
|
Chức năng chữ và số, chức năng in phom tự do |
|
|
|
Hướng dẫn bảo dưỡng bằng hình động |
|
|
|
Điều hướng, đo đạc, xén ảnh |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
