LayerProbe là chức năng phần mềm có thể tính toán độ dầy và thành phần cấu tạo dựa vào mật độ tia X phát nhờ chùm điện tử bắn vào bề mặt mẫu.
Không cần phải cắt hoặc đánh bóng mẫu, nhưng chức năng phần mềm vẫn đo được chiều dày và phân tích đặc tính của mỗi lớp vật liệu.
