Máy bơm Turbo phân tử thông lượng lớn, Turbo-V 3K-G, là hệ thống bơm chân không chuyên dụng, thiết kế đặc biệt như một máy bơm turbo cho thiết bị lắng động màng mỏng. Các giai đoạn bơm và toàn bộ cáu trúc máy bơm, được tối ưu hóa để hoạt động với lưu lượng Argon lớn dưới nhiệt độ tải khí lớn.
Turbo-V 3K-G phù hợp cho môi trường sản xuất khắc nghiệt nhờ thiết kế chắc chắn. Các ứng dụng công nghiệp phủ chân không điển hình bao gồm lắng đọng hơi nước (PVD), sản xuất tấm pin mặt trời và màn hình phẳng.
Thiết kế bơm mạnh mẽ và thiết bị điện tử hiện đại, bộ điều khiển giá đỡ hoặc bo mạch, khiến cho Turbo-V 1K-G trở thành giải pháp tối ưu cho ngành công nghiệp phủ chân không.
Đặc diểm:
| Tốc độ bơm: |
N2: 2200 l/s
|
He: 1900 l/s
|
Ar: 2050 l/s |
| Tỷ lệ nén: | N2: > 1 x 107 | He: 6 x 103 | Ar: > 1 x 108 |
| Áp lực cơ sở* (Với bơm sơ cấp đề xuất) | -8 mbar | ||
| Mặt bích đầu vào | ISO 250F | ||
| Mặt bích foreline | KF 40 NW | ||
| Tốc độ quay | 31,800 rpm | ||
| Thời gian khởi động không cần tải khí với bơm sơ cấp đề xuất | |||
| Áp lực Foreline | < 0.5 mbar | ||
| Bơm sơ cấp đề xuất tối thiểu | > 60 m3/h (Dựa trên yêu cầu dòng khí) | ||
| Tư thế vận hành | Bất kì | ||
| Yêu cầu tản nhiệt | Nước | ||
| Khối lượng ISO (250) | 52 kg (114.63 lbs) |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
