VarioLas Eco, VarioLas Pro và VarioLas Sweep được tích hợp nguồn laser excimer với các các giá trị bước sóng phổ biến gồm 193 nm, 248 nm và 308 nm.
Các đặc tính nổi bật của laser excimer VarioLas |
Trang bị công nghệ laser excimer của Coherent |
Kích thước trường lớn cho các quy trình gia công xử lí đồng thời |
Tính khả dụng của chum tia |
Độ ổn định Xung-tới-Xung tốt hơn |
Độ ổn định quy trình gia công không đối xứng |
Thiết kế dạng mô-đun với các tùy chọn nâng cấp |
VarioLas Model |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas Sweep |
Địa chất thực địa |
Square |
Square |
Line |
Kích thước trường đế (mm2) |
2 x 2 |
2 x 2 |
50 x 0.6 |
Độ phân giải quang học(μm) |
30 |
5 |
- |
Khoảng cách làm việc(mm) |
50 |
50 |
100 |
Tần số lặp xung tối đa(Hz) |
100 |
100 |
100 |
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 193 nm |
1000 |
1000 |
230 |
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 248 nm |
3500 |
3500 |
600 |
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 308 nm |
3000 |
3000 |
500 |
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 193 nm |
2 |
2 |
2 |
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 248 nm |
1 |
1 |
1 |
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 308 nm |
1 |
1 |
1 |
Phụ kiện
Số tham chiếu |
Phụ kiện an toàn |
1161813 |
Hộp chứa - Class 1 |
1161812 |
Mạch khóa liên động an toàn tự động - Class 3 |
1107556 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 193 nm |
1107557 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 248 nm |
1157558 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 308 nm |
Số tham chiếu |
Bộ điều khiển |
1161814 |
Máy tính PC điều khiển (với màn hình) |
1161815 |
Bệ đỡ (3 hệ trục bao gồm dụng cụ gá) |
1161816 |
Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 193 nm) |
1161817 |
Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 248 nm và 308 nm) |
1161818 |
Thiết bị quan sát (dàn cho VarioLasPro, tất cả bước sóng) |
1161819 |
Bộ suy giảm gắn động cơ (nâng cấp) |
1161820 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 193 nm |
1161821 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 248 nm |
1161822 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 308 nm |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.