VarioLas Eco, VarioLas Pro và VarioLas Sweep được tích hợp nguồn laser excimer với các các giá trị bước sóng phổ biến gồm 193 nm, 248 nm và 308 nm.
|
Các đặc tính nổi bật của laser excimer VarioLas |
|
Trang bị công nghệ laser excimer của Coherent |
|
Kích thước trường lớn cho các quy trình gia công xử lí đồng thời |
|
Tính khả dụng của chum tia |
|
Độ ổn định Xung-tới-Xung tốt hơn |
|
Độ ổn định quy trình gia công không đối xứng |
|
Thiết kế dạng mô-đun với các tùy chọn nâng cấp |
|
VarioLas Model |
VarioLas Eco |
VarioLas Pro |
VarioLas Sweep |
|
Địa chất thực địa |
Square |
Square |
Line |
|
Kích thước trường đế (mm2) |
2 x 2 |
2 x 2 |
50 x 0.6 |
|
Độ phân giải quang học(μm) |
30 |
5 |
- |
|
Khoảng cách làm việc(mm) |
50 |
50 |
100 |
|
Tần số lặp xung tối đa(Hz) |
100 |
100 |
100 |
|
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 193 nm |
1000 |
1000 |
230 |
|
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 248 nm |
3500 |
3500 |
600 |
|
Mật độ năng lượng tối đa (mJ/cm2) ở 308 nm |
3000 |
3000 |
500 |
|
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 193 nm |
2 |
2 |
2 |
|
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 248 nm |
1 |
1 |
1 |
|
Độ ổn định năng lượng (%, 1 sigma) ở 308 nm |
1 |
1 |
1 |
Phụ kiện
|
Số tham chiếu |
Phụ kiện an toàn |
|
1161813 |
Hộp chứa - Class 1 |
|
1161812 |
Mạch khóa liên động an toàn tự động - Class 3 |
|
1107556 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 193 nm |
|
1107557 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 248 nm |
|
1157558 |
Màng chắn chùm tia laser tự động cho bước sóng 308 nm |
|
Số tham chiếu |
Bộ điều khiển |
|
1161814 |
Máy tính PC điều khiển (với màn hình) |
|
1161815 |
Bệ đỡ (3 hệ trục bao gồm dụng cụ gá) |
|
1161816 |
Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 193 nm) |
|
1161817 |
Thiết bị quan sát (dành cho VarioLasPro, 248 nm và 308 nm) |
|
1161818 |
Thiết bị quan sát (dàn cho VarioLasPro, tất cả bước sóng) |
|
1161819 |
Bộ suy giảm gắn động cơ (nâng cấp) |
|
1161820 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 193 nm |
|
1161821 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 248 nm |
|
1161822 |
Bộ suy giảm gắn động cơ , Kiểm soát năng lượng, Pro/Eco, 308 nm |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.