|
Bước sóng(nm) |
Mô-đun bộ suy hao, Thủ công(Số tham chiếu) |
Mô-đun bộ suy hao, Gắn động cơ (Số tham chiếu) |
Mô-đun bộ suy hao cho bước sóng 157 nm (Số tham chiếu) |
|
157 |
Không |
Không |
1111338 |
|
193 |
2910218 |
1116186 |
Không |
|
248 |
2910216 |
2910566 |
Không |
|
308 |
1116181 |
1116184 |
Không |
|
351 |
116182 |
2910568 |
Không |
Bộ đồng nhất - Hệ thống quang học và Hệ thống phủ tốt hơn
Do Laser excimer tạo ra các xung với năng lượng cao của phổ sóng UV, các vật liệu được sử dụng để chế tạo hệ quang học phải được lựa chọn cẩn thận và bản thân hệ thống quang học phải được thiết kế một cách thích hợp. Với nhiều năm kinh nghiệm cùng sự hiểu biết sâu sắc, chúng tôi sẽ mang đến cho quý khách hàng những giải pháp chính xác và phù hợp nhất với nhu cầu thực tiễn.
Thông số kĩ thuật
|
Bộ đồng nhất 5 x 5 |
Bộ đồng nhất 10 x 10 |
Bộ đồng nhất 20 x 20 |
|
|
Kích thước trường đồng nhất (mm) |
5 x 5 |
10 x 10 |
20 x 20 |
|
Độ Zoom |
±10% |
±10% |
±10% |
|
Độ đồng nhất |
<±5% |
<±5% |
<±5% |
|
Vị trí trường đồng nhất |
Đầu vào khẩu độ |
Đầu vào khẩu độ |
Đầu vào khẩu độ |
|
Xấp xỉ 600mm kể từ đầu ra bộ đồng nhất (tùy thuộc vào bước sóng) |
32 x 32 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng) |
29.6 x 29.6 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng) |
29.6 x 29.6 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng) |
|
Các sản phẩm khác theo yêu cầu |
Kích thước trường từ 4 x 4 mm lên tới 200 mm |
||
|
Part No. 193 nm |
1116198 |
1116202 |
|
|
Part No. 248 nm |
1116199 |
1116203 |
|
|
Part No. 308 nm |
1116200 |
1116204 |
|
|
Part No. 351 nm |
1116201 |
1116205 |
Ống kính máy chiếu
| Tên phụ kiện |
P-lens 4-10x/4-xxx |
P-lens 5x/18-xxx |
P-lens 5x/30-xxx |
Doublet 50-xxx |
Doublet 100-xxx |
|
Bước sóng (nm) |
157 |
157 |
|||
|
193 |
193 |
193 |
|||
|
248 |
248 |
248 |
248 |
||
|
308 |
308 |
308 |
308 |
308 |
|
|
351 |
351 |
351 |
|||
|
Bộ điều chỉnh độ phóng đại |
4 tới 10x (thông số kĩ thuật cao hơn theo yêu cầu) |
5x |
5x |
Biến thiên |
Biến thiên |
|
Chiều dài tiêu cự (mm) |
Khoảng. 100 |
Khoảng. 50 |
Khoảng. 100 |
||
|
Đường kính trường ảnh (mm) |
4 |
18 |
30 |
Tùy thuộc vào bước sóng |
Tùy thuộc vào bước sóng |
|
Khẩu độ số |
Tùy thuộc vào bước sóng (Độ nhiễu xạ-được giới hạn cho tất cả các bước sóng) |
0.13(Giới hạn nhiễu xạ) |
0.1 (Giới hạn nhiễu xạ) |
||
|
Độ phân giải không gian(µm) |
3 dòng và các khoảng trống |
2 dòng và các khoảng trống |
2.5 dòng và các khoảng trống |
50 dòng và các khoảng trống |
50 dòng và các khoảng trống |
|
Khoảng cách làm việc |
Tùy thuộc vào bước sóng, thị kính, và bộ điều chỉnh độ phóng đại |
Tùy thuộc vào bước sóng |
Tùy thuộc vào bước sóng |
Khoảng 35 mm |
Khoảng 70 mm |
|
Chiều dài theo dõi |
Tùy thuộc vào bước sóng, thị kính, và bộ điều chỉnh độ phóng đại |
800 mm |
1050 mm |
Tùy thuộc vào bước sóng, và hệ số điều chỉnh độ phóng đại |
Tùy thuộc vào bước sóng, và hệ số điều chỉnh độ phóng đại |
|
Độ truyền qua |
>80% |
>80% |
>80% |
- |
- |
|
Part No. 157 nm |
1116211 |
1116216 |
|||
|
Part No. 193 nm |
9680011 |
1116198 |
1116212 |
1116217 |
|
|
Part No. 248 nm |
M290009 |
M290022 |
1137121 |
1116213 |
1116218 |
|
Part No. 308 nm |
1116206 |
M290008 |
9680052 |
1116214 |
2921330 |
|
Part No. 351 nm |
1116207 |
1116201 |
1116215 |
1116219 |
|
Wavelength (nm) |
Attenuator Module, Manual (Part No.) |
Attenuator Module, Motorized (Part No.) |
Attenuator Module for 157 nm (Part No.) |
|
157 |
Not Available |
Not Available |
1111338 |
|
193 |
2910218 |
1116186 |
Not Available |
|
248 |
2910216 |
2910566 |
Not Available |
|
308 |
1116181 |
1116184 |
Not Available |
|
351 |
116182 |
2910568 |
Not Available |
Homogenizers - Superior Optics and Coatings
Because excimer lasers produce high-energy pulses of ultraviolet light, the materials used to make the optics must be carefully selected and the optics themselves must be carefully designed. You can rely on our deep knowledge and many years of experience to deliver the exact solutions you need.
Specifications
|
Homogenizer 5 x 5 |
Homogenizer 10 x 10 |
Homgenizer 20 x 20 |
|
|
Homogenized Field Size (mm) |
5 x 5 |
10 x 10 |
20 x 20 |
|
Zoom |
±10% |
±10% |
±10% |
|
Homogeneity |
<±5% |
<±5% |
<±5% |
|
Field Position |
Entrance aperture |
Entrance aperture |
Entrance aperture |
|
Appox. 600 mm after Homogenizer Exit (depending on wavelength) |
32 x 32 mm, overall size entrance-exit approx. 1100 mm (depending on wavelength) |
29.6 x 29.6 mm, overall size entrance-exit approx. 1000 mm (depending on wavelength) |
29.6 x 29.6 mm, overall size entrance-exit approx. 900 mm (depending on wavelength) |
|
Other versions on request |
Field dimensions from 4 x 4 mm up to 200 mm |
||
|
Part No. 193 nm |
1116198 |
1116202 |
|
|
Part No. 248 nm |
1116199 |
1116203 |
|
|
Part No. 308 nm |
1116200 |
1116204 |
|
|
Part No. 351 nm |
1116201 |
1116205 |
Projection Lenses
|
P-lens 4-10x/4-xxx |
P-lens 5x/18-xxx |
P-lens 5x/30-xxx |
Doublet 50-xxx |
Doublet 100-xxx |
|
|
Wavelength (nm) |
157 |
157 |
|||
|
193 |
193 |
193 |
|||
|
248 |
248 |
248 |
248 |
||
|
308 |
308 |
308 |
308 |
308 |
|
|
351 |
351 |
351 |
|||
|
Demagnification |
4 to 10x (higher demagnification on request) |
5x |
5x |
Variable |
Variable |
|
Focal Length (mm) |
Approx. 100 |
Approx. 50 |
Approx. 100 |
||
|
Image Field Diameter (mm) |
4 |
18 |
30 |
Depending on wavelength |
Depending on wavelength |
|
Numerical Aperture |
Depending on wavelength (diffraction-limited for all available wavelengths) |
0.13 (diffraction limited) |
0.1 (diffraction limited) |
||
|
Spatial Resolution (µm) |
3 lines and spaces |
2 lines and spaces |
2.5 lines and spaces |
50 lines and spaces |
50 lines and spaces |
|
Working Distance |
Depending on wavelength, use of eye piece, and demagnification |
Depending on wavelength |
Depending on wavelength |
Approx. 35 mm |
Approx. 70 mm |
|
Tracking Length |
Depending on wavelength, use of eye piece, and demagnification |
800 mm |
1050 mm |
Depending on wavelength and demagnification ratio |
Depending on wavelength and demagnification ratio |
|
Transmission |
>80% |
>80% |
>80% |
- |
- |
|
Part No. 157 nm |
1116211 |
1116216 |
|||
|
Part No. 193 nm |
9680011 |
1116198 |
1116212 |
1116217 |
|
|
Part No. 248 nm |
M290009 |
M290022 |
1137121 |
1116213 |
1116218 |
|
Part No. 308 nm |
1116206 |
M290008 |
9680052 |
1116214 |
2921330 |
|
Part No. 351 nm |
1116207 |
1116201 |
1116215 |
1116219 |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
