Các tính năng nối bật của hệ thống LineBeam |
Độ đồng nhất ngoại quan chùm tia tuyệt vời |
Tuổi thọ vận hành hệ thống quang học đáng kinh ngạc |
Công nghệ đã được chứng minh trong công nghiệp chế tạo màn hình; Được áp dụng rộng rãi trên toàn thế giới |
Công nghệ tiêu chuẩn cho quy trình xử lí nhiệt vật liệu silicon (LTPS-LCD, OLED) |
Phụ kiện cho hệ thống LineBeam |
Thiết bị làm nhẵn cỡ micro |
Bộ điều hưởng theo trục ngắn chất lượng cao |
Bộ định hình chùm tia |
Mô-đun mở rộng xung |
Bộ ổn định chùm tia |
Bộ phát chùm tia đối xứng |
Bộ giám sát trực tuyến theo trục ngắn |
Bộ giám sát CB E-Sigma |
Bộ giám sát cửa vào ống kính P-Lens |
Bộ giám sát SB E-Sigma |
Tên model |
LineBeam 465 |
LineBeam 750 |
LineBeam 1000 |
LineBeam 1300 |
Bước sóng (nm) |
308 |
308 |
308 |
308 |
Năng lượng xung laser (mJ) |
1050 |
2000 |
4000 |
4000 |
Max. Tần số lặp xung (Hz) |
600 |
600 |
600 |
600 |
Mật độ năng lượng (mJ/cm2) |
350 |
430 |
435 |
435 |
Độ dài chùm tia (mm) |
465 |
750 |
1000 |
1300 |
Độ rộng chùm tia (µm) |
350 |
400 |
580 |
450 |
Độ đồng nhất theo trục dài (%, 2 sigma) |
1.8 |
1.8 |
1.8 |
1.8 |
Độ nghiêng theo trục ngắn (µm) |
125 |
125 |
125 |
125 |
Độ sâu tiêu cự (µm) |
±150 |
±150 |
±120 |
±120 |
Các giải pháp gia công bằng tia UV |
Bước sóng (nm) |
Hình dạng chùm tia |
Kích thước chùm tia- xấp xỉ |
Mật độ năng lượng - xấp xỉ |
Tùy chọn Laser |
UVblade |
308 |
Vạch |
(250-750 mm) x 0.3 mm |
0.3 J/cm2 |
LEAP, LAMBDA SX |
LineBeam |
308 |
Vạch |
(750 - 1300 mm) x 0.4 mm |
0.4J/cm2 |
VYPER, TwinVYPER |
VarioLas |
193, 248, 308 |
Vạch hoặc Hình chữ nhật |
50 mm x 0.6 mm hoặc 2 mm x 2 mm |
0.2-5 J/cm2 |
COMPexPro, LPXpro |
GeoLasPro |
193 |
Điểm tròn |
4-160 µm |
1-45 J/cm2 |
COMPexPro |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.