UV Optical Components

State: In stock

Making the most of a UV laser beam.

Warranty: No warranty infomation

Price: Contact us

Order

Delivery time: 8h00 - 18h00 daily
Genuine product, provided width CO, CQ
03 months of free warranty for consumable and accessories
12 months of free warranty for main equipment
Accessorie's price is applied only when purchased with
main equipment
Contact us for any particular accessory's quotion

Email: info@redstarvietnam.com Every day in week

Features
Specifications
Downloads
Comments

Bước sóng(nm)	Mô-đun bộ suy hao, Thủ công(Số tham chiếu)	Mô-đun bộ suy hao, Gắn động cơ (Số tham chiếu)	Mô-đun bộ suy hao cho bước sóng 157 nm (Số tham chiếu)
157	Không	Không	1111338
193	2910218	1116186	Không
248	2910216	2910566	Không
308	1116181	1116184	Không
351	116182	2910568	Không

Bộ đồng nhất - Hệ thống quang học và Hệ thống phủ tốt hơn

Do Laser excimer tạo ra các xung với năng lượng cao của phổ sóng UV, các vật liệu được sử dụng để chế tạo hệ quang học phải được lựa chọn cẩn thận và bản thân hệ thống quang học phải được thiết kế một cách thích hợp. Với nhiều năm kinh nghiệm cùng sự hiểu biết sâu sắc, chúng tôi sẽ mang đến cho quý khách hàng những giải pháp chính xác và phù hợp nhất với nhu cầu thực tiễn.

Thông số kĩ thuật

	Bộ đồng nhất 5 x 5	Bộ đồng nhất 10 x 10	Bộ đồng nhất 20 x 20
Kích thước trường đồng nhất (mm)	5 x 5	10 x 10	20 x 20
Độ Zoom	±10%	±10%	±10%
Độ đồng nhất	<±5%	<±5%	<±5%
Vị trí trường đồng nhất	Đầu vào khẩu độ	Đầu vào khẩu độ	Đầu vào khẩu độ
Xấp xỉ 600mm kể từ đầu ra bộ đồng nhất (tùy thuộc vào bước sóng)	32 x 32 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng)	29.6 x 29.6 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng)	29.6 x 29.6 mm, kích thước đầu ra khẩu độ khoảng. 1100 mm (tùy thuộc vào bước sóng)
Các sản phẩm khác theo yêu cầu	Kích thước trường từ 4 x 4 mm lên tới 200 mm
Part No. 193 nm	1116198	1116202
Part No. 248 nm	1116199	1116203
Part No. 308 nm	1116200	1116204
Part No. 351 nm	1116201	1116205

Ống kính máy chiếu

Tên phụ kiện	P-lens 4-10x/4-xxx	P-lens 5x/18-xxx	P-lens 5x/30-xxx	Doublet 50-xxx	Doublet 100-xxx
Bước sóng (nm)				157	157
	193			193	193
	248	248		248	248
	308	308	308	308	308
	351			351	351
Bộ điều chỉnh độ phóng đại	4 tới 10x (thông số kĩ thuật cao hơn theo yêu cầu)	5x	5x	Biến thiên	Biến thiên
Chiều dài tiêu cự (mm)	Khoảng. 100			Khoảng. 50	Khoảng. 100
Đường kính trường ảnh (mm)	4	18	30	Tùy thuộc vào bước sóng	Tùy thuộc vào bước sóng
Khẩu độ số	Tùy thuộc vào bước sóng (Độ nhiễu xạ-được giới hạn cho tất cả các bước sóng)	0.13(Giới hạn nhiễu xạ)	0.1 (Giới hạn nhiễu xạ)
Độ phân giải không gian(µm)	3 dòng và các khoảng trống	2 dòng và các khoảng trống	2.5 dòng và các khoảng trống	50 dòng và các khoảng trống	50 dòng và các khoảng trống
Khoảng cách làm việc	Tùy thuộc vào bước sóng, thị kính, và bộ điều chỉnh độ phóng đại	Tùy thuộc vào bước sóng	Tùy thuộc vào bước sóng	Khoảng 35 mm	Khoảng 70 mm
Chiều dài theo dõi	Tùy thuộc vào bước sóng, thị kính, và bộ điều chỉnh độ phóng đại	800 mm	1050 mm	Tùy thuộc vào bước sóng, và hệ số điều chỉnh độ phóng đại	Tùy thuộc vào bước sóng, và hệ số điều chỉnh độ phóng đại
Độ truyền qua	>80%	>80%	>80%	-	-
Part No. 157 nm				1116211	1116216
Part No. 193 nm	9680011		1116198	1116212	1116217
Part No. 248 nm	M290009	M290022	1137121	1116213	1116218
Part No. 308 nm	1116206	M290008	9680052	1116214	2921330
Part No. 351 nm	1116207		1116201	1116215	1116219

Wavelength (nm)	Attenuator Module, Manual (Part No.)	Attenuator Module, Motorized (Part No.)	Attenuator Module for 157 nm (Part No.)
157	Not Available	Not Available	1111338
193	2910218	1116186	Not Available
248	2910216	2910566	Not Available
308	1116181	1116184	Not Available
351	116182	2910568	Not Available

Homogenizers - Superior Optics and Coatings

Because excimer lasers produce high-energy pulses of ultraviolet light, the materials used to make the optics must be carefully selected and the optics themselves must be carefully designed. You can rely on our deep knowledge and many years of experience to deliver the exact solutions you need.

Specifications

	Homogenizer 5 x 5	Homogenizer 10 x 10	Homgenizer 20 x 20
Homogenized Field Size (mm)	5 x 5	10 x 10	20 x 20
Zoom	±10%	±10%	±10%
Homogeneity	<±5%	<±5%	<±5%
Field Position	Entrance aperture	Entrance aperture	Entrance aperture
Appox. 600 mm after Homogenizer Exit (depending on wavelength)	32 x 32 mm, overall size entrance-exit approx. 1100 mm (depending on wavelength)	29.6 x 29.6 mm, overall size entrance-exit approx. 1000 mm (depending on wavelength)	29.6 x 29.6 mm, overall size entrance-exit approx. 900 mm (depending on wavelength)
Other versions on request	Field dimensions from 4 x 4 mm up to 200 mm
Part No. 193 nm	1116198	1116202
Part No. 248 nm	1116199	1116203
Part No. 308 nm	1116200	1116204
Part No. 351 nm	1116201	1116205

Projection Lenses

	P-lens 4-10x/4-xxx	P-lens 5x/18-xxx	P-lens 5x/30-xxx	Doublet 50-xxx	Doublet 100-xxx
Wavelength (nm)				157	157
	193			193	193
	248	248		248	248
	308	308	308	308	308
	351			351	351
Demagnification	4 to 10x (higher demagnification on request)	5x	5x	Variable	Variable
Focal Length (mm)	Approx. 100			Approx. 50	Approx. 100
Image Field Diameter (mm)	4	18	30	Depending on wavelength	Depending on wavelength
Numerical Aperture	Depending on wavelength (diffraction-limited for all available wavelengths)	0.13 (diffraction limited)	0.1 (diffraction limited)
Spatial Resolution (µm)	3 lines and spaces	2 lines and spaces	2.5 lines and spaces	50 lines and spaces	50 lines and spaces
Working Distance	Depending on wavelength, use of eye piece, and demagnification	Depending on wavelength	Depending on wavelength	Approx. 35 mm	Approx. 70 mm
Tracking Length	Depending on wavelength, use of eye piece, and demagnification	800 mm	1050 mm	Depending on wavelength and demagnification ratio	Depending on wavelength and demagnification ratio
Transmission	>80%	>80%	>80%	-	-
Part No. 157 nm				1116211	1116216
Part No. 193 nm	9680011		1116198	1116212	1116217
Part No. 248 nm	M290009	M290022	1137121	1116213	1116218
Part No. 308 nm	1116206	M290008	9680052	1116214	2921330
Part No. 351 nm	1116207		1116201	1116215	1116219