Máy đo và phân tích bề mặt của Bruker, DektakXT™, là sản phẩm mang tính cách mạng cho phép lặp lại phép đo lên tới 4Å. Hiệu suất của bút cảm ứng stylus là cột mốc quan trọng đánh dấu sự đỉnh cao của 40 năm đổi mới Dektak® và dẫn đầu trong ngành. Bằng sự kết hợp của những công nghệ tiên tiến nhất, DektakXT mang lại hiệu suất cao nhất, dễ sử dụng và đem lại những giá trị sử dụng để cho phép giám sát quy trình tốt hơn trong lĩnh vực từ R&D đến QC. Những đột phá công nghệ được kết hợp trong Dektak cho phép thực hiện các phép đo bề mặt quan trọng ở cấp độ nano cho các ngành công nghiệp vi điện tử, bán dẫn, năng lượng mặt trời, đèn LED độ sáng cao, y tế và khoa học vật liệu.
Chức năng nổi bật
|
Tăng tốc thu thập và phân tích dữ liệu
|
Vision64, phần mềm xử lý song song của DektakXT, hoàn thành và xử lý các tệp dữ liệu 3D lớn trong gần một nửa thời gian. |
||||
|
Cảm biến all-in-one của Dektak cho phép quét phạm vi dọc lớn với lực quét thấp |
Khả năng lặp lại phép đo nhiều lần
Với cấu trúc vòm, DektakXT được thiết kế chắc chắn hơn, giảm thiểu ảnh hưởng của tiếng ồn môi trường. “Thiết bị điện tử thông minh” được nâng cấp của DektakXT làm giảm sự biến đổi nhiệt độ và đồng thời, bộ xử lý hiện đại hạn chế những lỗi xảy ra bởi tiếng ồn, cho phép nó trở thành một hệ thống mạnh mẽ hơn có khả năng đo bậc cao <10nm. |
||||
|
Phương tiện hoàn hảo để hoạt động và phân tích
|
Vision64 đơn giản hóa và tăng tốc đáng kể việc vận hành và phân tích dữ liệu. |
||||
|
DektakXT có tính năng trao đổi đầu bút cảm ứng nhanh nhất và dễ dàng nhất, có thể sừ dụng nhiều loại đầu bút khác nhau để giải quyết nhiều loại ứng dụng nhất. |
Làm mọi thứ trở nên dễ dàng
Bút cảm ứng tự căn chỉnh của DektakXT cho phép người dùng thay đổi đầu bút khác nhau nhanh chóng và dễ dàng, đồng thời ngăn ngừa việc hư hỏng trong quá trình này. Bruker cung cấp nhiều kích cỡ bút stylus nhất để đáp ứng hầu hết mọi nhu cầu ứng dụng. |
||||
|
Đảm bảo năng suất cao
|
Bản đồ 3D DektakXT của một mạch lai |
||||
|
Kỹ thuật đo lường |
Bút cảm ứng Stylus (Phương pháp tiếp xúc) |
|
Chức năng đo lường |
Chức năng đo lường biên dạng bề mặt 2D; Chức năng đo lường và phân tích 3D |
|
Quan sát mẫu |
Phóng đại kỹ thuật số, 0.275 tới 2.2 mm trường quan sát dọc |
|
Cảm biến Stylus |
Low Inertia Sensor (LIS 3) |
|
Lực bút Stylus |
1 tới 15 mg với LIS 3 sensor |
|
Tùy chọn Low Force |
N-Lite+ Low Force với 0.03 tới 15 mg (tùy chọn) |
|
Tùy chọn bút Stylus |
Tùy chọn bán kính đầu bút cảm ứng từ 50 nm đến 25 μm; Đầu bút HAR 200 μm x 20 μm; Các đầu bút tùy chỉnh có sẵn theo yêu cầu |
|
Bệ mẫu X/Y |
Bệ mẫu 100 mm (4 in.) X/Y, nâng hạ thủ công; Bệ mẫu gắn động cơ 150 mm (6 in.) X/Y, nâng hạ thủ công |
|
Bệ mẫu R-Theta |
Bệ mẫu , quay liên tục 360 độ; Bệ mẫu gắn động cơ, quay liên tục 360 độ; |
|
Hệ thống máy tính |
Bộ xử lý song song đa lõi 64-bit, Windows® 7.0; Tùy chọn màn hình 24 inch |
|
Phần mềm |
Phần mềm Vision64; Chức năng: Stress Measurement; Microform; Stitching; 3D Mapping; Tùy chọn: Stitching; Pattern Recognition; Advanced Production Interface (API) |
|
Chống rung |
Các giải pháp chống rung tùy chọn |
|
Phạm vi quét |
55 mm (2 in.); 200 mm (8 in.) với chức năng scan stitching |
|
Điểm dữ liệu mỗi lần quét |
Tối đa 120,000 |
|
Độ dày mẫu tối đa |
50 mm (1.95 in.) |
|
Kích thước wafer tối đa |
200 mm (8 in.) |
|
Độ lặp lại |
4Å, 1 sigma trên bước ≤1 μm (30 lần scans sử dụng bút stylus 12.5 μm) |
|
Phạm vi dọc |
1 mm (0.039 in.) |
|
Độ phân giải dọc |
1Å (@ 6.55 μm range) |
|
Nguồn điện đầu vào |
100 – 240 VAC, 50 – 60Hz |
|
Phạm vi nhiệt độ |
Phạm vi vận hành, 20 tới 25°C (68 tới 77ºF) |
|
Độ ẩm |
≤80%, không ngưng tụ |
|
Kích thước, khối lượng |
455 mm W x 550 mm D x 370 mm H (17.9 in. W x 22.6 in. D x 14.5 in. H); 34 kg (75 lbs.); Vỏ chắn: 550 mm L x 585 mm W x 445 mm H (21.6 in. L x 23 in. W x 17.5 in. H); 5.0 kg (11 lbs.) |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
