| Phương pháp đo | Hồng ngoại FT-IR dành cho màng mỏng |
| Điều chỉnh đo | Phản xạ, truyền qua (option) |
| Vật kính | Hồng ngoại gần: Lens objectives (4X) and Cassegrain objectives (15X, 30X) |
| Hồng ngoại trung: Cassegrain objectives (15X, 30X) | |
| Hội tụ | Chu trình 11mm |
| Diện tích kiểm tra | 20 x 20 to 1200 x 1200 µm |
| Vị trí kiểm tra | Sử dụng camera CCD |
| Dải đo/độ chính xác | |
| Độ dày màng | 0.25 to 750 µm (for Si) |
| Độ lặp lại | ±0.005 µm or less (for Si with identical measurements) |
| XY stage | |
| Stage movement | 200 x 200 mm (Other options available) |
| Bước nhỏ nhất | 2 µmm |
| Thông số vận hành | |
| Hệ thống vận hành | Windows 7 Professional |
| Điều khiển hệ thống | JASCO Spectra Manager software; Optics and X-Y stage control; Wafer cassette system control (option) |
| Table | |
| Loại | Integrated vibration isolation table |
| Kích thước | 1400 x 850 x 1025 mm (excluding protrusions or optional cassette loading system) |
| Nguồn điện | 300 VA |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
