Giới thiệu
Bán dẫn là cốt lõi của các sản phẩm điện tử hiện đại và được ứng dụng trong điện thoại thông minh, ô tô cùng nhiều lĩnh vực khác. Với những tiến bộ trong ngành công nghiệp bán dẫn, nhiều thiết bị đã trở nên nhỏ hơn, nhanh hơn, đáng tin cậy hơn và mạnh mẽ hơn.
Để giải quyết bài toán về chi phí cao, hiệu suất sản phẩm trong quá trình sản xuất bán dẫn đã trở thành mối quan tâm hàng đầu của các nhà sản xuất. Có rất nhiều yếu tố ảnh hưởng đến hiệu suất sản phẩm, trong đó sự nhiễm bẩn chắc chắn là một trong những yếu tố quan trọng nhất. Các chuyên gia trong ngành ước tính rằng sự nhiễm bẩn gây ra khoảng 50% tổn thất trong sản xuất
Từ những năm 1970 đến nay, quy trình sản xuất chip đã chuyển dịch từ kỷ nguyên “micromet” sang kỷ nguyên “nanomet”, và các kích thước nút công nghệ nhỏ hơn 10 nm đã được phát triển (hiện tại là 3nm trên các dòng chip mới nhất được sản xuất bởi TSMC & Samsung). Khi các linh kiện thu nhỏ đến quy mô nano, việc kiểm soát các chất ô nhiễm và tạp chất ngày càng trở nên quan trọng hơn, bởi ngay cả các chất ô nhiễm ở dạng vết siêu nhỏ cũng sẽ làm giảm hiệu suất, giảm độ tin cậy của sản phẩm hoặc gây ra lỗi vận hành. Việc phân tích tạp chất của chất bán dẫn và các sản phẩm điện tử phải bao quát các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất, từ kiểm thử phiến bán dẫn, nguyên liệu thô, hóa chất quy trình, cho đến công tác đảm bảo chất lượng/kiểm soát chất lượng (QA/QC) cho sản phẩm cuối cùng. Ngoài ra, việc kiểm soát chân không cũng cực kỳ then chốt trong sản xuất thiết bị, sản xuất cảm biến , sản xuất bộ điều khiển và các bước sản xuất tiên tiến khác trong toàn bộ chuỗi cung ứng ngành bán dẫn.
Kể từ cuối những năm 1980, Agilent đã hợp tác chặt chẽ với các nhà sản xuất bán dẫn và nhà cung cấp hóa chất hàng đầu để phát triển các công nghệ phân tích và giám sát cho toàn chuỗi ứng dụng ngành bán dẫn, giải quyết các thách thức về phân tích trong ngành công nghiệp bán dẫn, đồng thời không ngừng khám phá những giải pháp đổi mới tiên phong.
Agilent đã tích lũy được nhiều công nghệ đổi mới và năng lực dịch vụ xuất sắc. Agilent có thể cung cấp các thiết bị phân tích, phần mềm, dịch vụvà hỗtrợvượt trội trong nhiều khía cạnh khác nhau của chuỗi ứng dụng ngành bán dẫn, chẳng hạn như: giám sát quy trình, kiểm soát chất lượng nguyên liệu thô, phát hiện tạp chất vô cơ, hạt nano và tạp chất hữu cơ, tuân thủcác quyđịnh vềan toàn sức khỏe môi trường, cũng nhưphát hiện rò rỉ chân không nhằm hỗtrợbạnđạt được thành công.
Giải pháp công nghệ bán dẫn Agilent
