• Hoàn toàn tự động và tích hợp
• Các linh kiện quang học và điện tử mới giúp thực hiện phép đo nhanh và chính xác.
• Mô phỏng pha với tần số PEM cao để thu thập dữ liệu nhanh chóng và không cần dịch chuyển linh kiện quang học.
• 8 vi điểm tiêu sắc xuống đến 35 μm
• Hệ thống quan sát được cấp bằng sáng chế
• Bệ mẫu XYZ lập bản đồ, tự động lấy nét và điều chỉnh độ nghiêng.

• Phổ kế Ellip quét mô phỏng pha: 190-880nm

• Hệ quan sát cho hình ảnh mẫu theo thời gian thực và đo điểm chính xác . 

• Các vi điểm được điều khiển bằng máy tính
  • Lựa chọn 8 kích thước điểm khác nhau.
  • Tiêu sắc Achromatic xuống đến 35 µm

• Máy đo góc điều khiển bằng máy tính
  • Dải góc thay đổi:  35° - 90°
  • Cho phép thay đổi góc phổ kế

• Bệ mẫu điều khiển bằng máy tính 200mm x 200mm, 3 trục XYZ
  • Lập bản đồ mẫu tự động
  • Bộ giữ mẫu vuông 200mm và 2 mẫu tham chiếu
  • Điều chính chiều cao  Z tự động : 40mm, tự động hội tụ

• Căn chỉnh nghiêng mẫu
  • Căn chỉnh mẫu bằng hệ laser

• Nguồn sáng 150 W Xenon 

• Hệ đơn sắc đôi, dải UV-Vis
  • 190nm – 880nm (ánh sáng lạc < 0.5% tại 190nm)
  • Đầu đo PMT đôi, cho độ nhạy và dải động học cao nhất

Khả năng mở rộng vùng NIR đến 2100 nm

• Hệ đơn sắc cho vùng NIR
  • 880nm – 2100nm.
  • Đầu đo InGaAs
• Phần mềm Delta Psi2 
  • Thu thập, hiệu chuẩn và xử lý số liệu
  • Tự động hiệu chuẩn