Hệ thống phân tích định lượng và định tính tất cả các vật liệu với dải nguyên tố từ Bo (5) tới Califocni (98). Ngoài ra còn phân tích thành phần tại các điểm đơn lẻ trên bề mặt mẫu, QUANTAX 80 với các chức năng quét theo đường và tạo bản đồ nguyên tố. Với đầu dò có thể tùy biến , quá trình phân tích và tạo báo cáo được hoàn thành chỉ trong một vài giây.

Tính năng nổi bật của hệ thống quang phổ tán xạ năng lượng QUANTAX 80:

Phần mềm ESPRIT Compact với chức năng mapping (a); tạo báo cáo (b); quét theo đường (c) và phổ (d).

 Tính năng đặc biệt:

Tái cấu trúc để tách biệt các nguyên tố  đang xếp chồng lên  nhau trong bản  đồ, ở  đây : silicon  (trên)  và  vonfram (dưới).	Quang phổ tổng (màu xám) của các bản đồ ở trên và các đỉnh nguyên tố được tách biệt cho silicon (màu xanh) và vonfram (màu vàng).	Đầu dò XFlash® tích hợp

Đầu dò XFlash®  630 H

• Đầu dò độ lệch silicon (SDD)
• Diện tích hiệu dụng: 30 mm2
• Cửa sổ siêu mỏng để phát hiện tất cả các nguyên tố bắt đầu từ Bo (B)
• Độ phân giải năng lượng cho Mn Ka≤129 eV; Độ phân giải năng lượng cho Cu Ka≤148  eV
• Làm mát kiểu Peltier, Không cần các chất tải lạnh như nitơ hoặc các loại khác.
• Không cần làm nóng đầu dò trong quá trình thông gió hoặc thay đổi mẫu
• Vận hành không rung
• Nhiệt độ môi trường: 15–30 ˚C
• Độ ẩm: 70% RH hoặc thấp hơn
• Kích thước: 100 x 123 x 105 mm3
• Khoảng cách làm việc tối thiểu: 8.5 mm
• Góc chia: 30 độ
• Trọng lượng: 1.3 kg
• Góc chất rắn: 0.0147 sr

Bộ điều khiển quét SCU

SCU là một thiết bị độc lập bao gồm hệ thống xử lí tín hiệu (Min SVE) và máy quét. SCU có thể được kết nối tới máy tính PC bất kì qua cổng Ethernet tiêu chuẩn.

• Nguồn điện: 60–240 VAC, 50/60   Hz
• Công suất tiêu thụ: ≤50 W (bao gồm đầu dò)
• 4096 kênh (2.5 eV/kênh)
• Tốc độ đếm đầu ra lên tới 60,000 cps
• Kích thước: 225 x 248 x 151 mm3
• Trọng lượng: 3.7 kg
• Giao diện FlexSEM1000 laptop/PC qua cổng GBit Ethernet