Tùy chọn (O) Mặc định (D)

Quang phổ kế (VIS/NIR)

Quang phổ kế VIS

(D)

• Cảm biến CCD tuyến tính mức ồn thấp

1,024(D) / 2,048(O) pixels

• Dải bước sóng

200~1,100nm

• Độ phân giải

3.5nm @khe 100μm với cách tử 600gr/mm 1,024pix

Quang phổ kế NIR

(O)

• Cảm biến CCD tuyến tính mức ồn thấp

512 pixels

• Dải bước sóng

900~1700nm

• Độ phân giải

2nm @ khe 10um với cách tử 150gr/mm

Laser

Bước sóng có sẵn(s)

266nm (O), 325nm (O), 375nm (D), 405nm (O), 442nm (O), 532nm (O), 658nm (O), 785nm (O), 1064nm  (Bước sóng này yêu cầu cần có quang phổ kế phụ trợ)

Số lượng laser tối đa

Max: 2 laser (O)

Điều khiển công suất bằng máy tính PC

Tùy thuộc vào loại laser

Điều chỉnh

Tùy thuộc vào loại laser

Thiết bị đo độ dày màng mỏng

Nguyên lý

Kĩ thuật đo phản xạ

Nguồn sáng

Đèn Tungsten Halogen (100W)

Dải đo

1μm~15μm

Độ phân dải

1um

Bê đỡ mô-tơ phụ tốc độ cao

Tải

Tải thủ công trên mâm cặp chân không

Định hướng

Theo trục X và Y

Độ phân giải bước dẫn động

0.5/1.0/1.5/2.0mm

Kích thước vòng đệm phụ

2” (D), 4” (D), 6” (D), 8” (O)

Tốc độ Mapping

2”