Dải đo

200 – 5,000 nm

Độ phân giải hệ thống

0.045nm @Cách tử 1200gr/mm / Cảm biến CCD độ phân giải -0.08 nm @ Cách tử 1800gr/mm 

Độ phân giải không gian

1um/( Giá trị độ phân giải khác đáp ứng theo yêu cầu )

Máy quang phổ

Quang sai hiệu chuẩn công suất lớn 1024x256 pixel format 95% QE, Hệ thống làm mát kiểu TE đạt nhiệt độ - 100^oC (max.) Dòng điện tối : 0.0005e-/pixel/giây

Đầu dò

CCD/PMT /Đi-ốt quang hiệu năng cao làm mát kiểu TE

Kiếm soát công suất laser

0.1% ~ 100 % (lên tới 6 mức công suất khác nhau, hoặc mức công suất khác theo yêu cầu người dùng)

Nguồn laser kích thích

Deep UV ~ NIR (lên tới 3 nguồn khác nhau có sẵn) 

Bệ mẫu

Dải hành trình bệ mẫu quét XY : 76 mm x52 mm; Độ lặp lại : < 1 um;  Độ phân giải ( min.) : 0.05 um(min.) 0.1 um(giá trị đặc trưng)

Hệ thống quan sát

Camera CCD hình ảnh kĩ thuật số Max. 1600x với cồng giao tiếp IEEE 1394 nhằm kiểm soát vị trí chùm sáng đầu vào & hình ảnh mẫu.

Kĩ thuật tự động(theo yêu cầu)

Phần mềm điều khiển bộ lọc laser và Thiết lập bộ lọc ND biến  thiên nhằm điều chỉnh công suất chùm sáng đầu vào.

Đầu rơvonve quét mô-tơ bước

Vật kính

Khoảng phổ : 200 – 1700 nm 10X, 50X & 100X Plan lenses 

Kích thước điểm chiếu sáng

 <1 um @ Vật kính 100X