Ưu điểm của thiết bị:

• Độ chính xác, độ nhạy và độ phân giải cao
• Dải phổ rộng: 190-2100 nm
• Thiết kế dạng mô đun
• Bộ phần mềm hoàn toàn tích hợp

Thiết bị cung cấp những thông tin sau:

• Độ dày màng từ 1Å tới >45µm*
• Các hằng số quang học (n,k) cho màng đẳng hưởng, màng phân cấp
• Độ nhám bề mặt và giao diện
• Các tính chất quang học như hằng số hấp thụ α và vùng cấm quang học Eg
• Các tính chất của vật liệu: thành phần hợp kim, độ xốp, độ tinh thể, tính hình thái và nhất quán.
• Mueller matrix
• Sự khử cực

Thiết bị phân tích phân cực Ellip UVISEL có 4 cấu hình sau:

190nm UVISEL Extended Range 2100 nm

245 nm UVISEL NIR 2100 nm

210 nm UVISEL VIS 880 nm

190 nm UVISEL FUV 880 nm

Thông số kỹ thuật:

• Dải phổ: 190-880 nm │ 210-880 nm │245-2100 nm │ 190-2100 nm
• Hệ phát hiện: Máy đơn sắc độ phân giải cao kết hợp với detector có độ nhạy cao hoặc hệ thống đa bước sóng 32/64 để thu thập dữ liệu nhanh.

Cấu hình bằng tay:

• Kích thước điểm: 0.08 – 0.1 – 1 mm (lỗ ngắm); 50µm FWHM theo yêu cầu
• Bệ mẫu: 150 mm, độ cao điều khiển bằng tay (4mm) và điều chỉnh độ nghiêng
• Giác kế: góc điều chỉnh bằng tay từ 55° tới 90° bằng bước 5°

Cấu hình tự động:

• Kích thước điểm điều chỉnh bằng tay hoặc tự động: 0.08 - 0.1 - 1 mm hoặc 0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm (lỗ ngắm)
• Bệ mẫu tự động:Bệ mẫu XY 200x200mm, 300x300 mm, độ nghiêng và độ cao điều chỉnh bằng tay (4mm) , bệ mẫu XYZ, bệ theta
• Giác kế tự động: góc tự động điều chỉnh từ 40° tới 90° bằng bước 0.01°

Giác kế tích hợp:

• Góc tới điều chỉnh bằng tay: 35° tới 90° bằng bước 5°
• Gá mẫu: điều chỉnh độ cao trục z bằng tay 150mm, 20mm
• Hệ thống chuẩn trực tự động để định tuyến mẫu (chọn thêm)
• Kích thước: Rộng: 25cm; Cao: 35cm; Sâu: 21 cm

Cấu hình tại chỗ

• Sự thích ứng về mặt cơ học: mép bích CF35 hoặc KF40
• Dễ dàng chuyển đổi gicấu hình in-situ và ex-situ

Options

• Accessories: temperature controlled cell, liquid cell, electrochemical cell, reflectometry module to measure reflectance at 0° incidence, and more
• Spectroscopic reflectometer: 450-850nm, spot size 10µm
• Vision: CCD camera

Hiệu suất:

• Độ chính xác: Ψ= 45°±0.02° và Δ=0°±0.02° được đo trong cấu hình không khí truyền thẳng 1.5 – 5 eV
• Độ lặp lại: NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm): d ± 0.1 % – n(632.8nm) ± 0.0001