Đặc tính của Phổ phân cực Ellip tích hợp trên hệ thống tạo màng vật liệu

• Độ chính xác và tốc độ cao nhất
• Tích hợp đầy đủ phần mềm theo thời gian đo thực, mô phỏng và báo cáo
• Dễ dàng chuyển đổi giữa cấu hình trong và ngoài

Các thông tin thu được

• Chiều dầy màng mỏng
• Hệ số quang học (n,k)
• Thành phần vật liệu

• Dải phổ: 210-880 nm - 190-880 nm - 245-2100 nm - 190-2100 nm
• Nguồn sáng: 75W Xe lamp hoặc 150W Xe lamp
• Thời gian thu nhập số liệu: 50ms
• Kích thước điểm: 1 x 3 mm