Công nghệ Trường phát xạ lạnh (FE) hay còn gọi là Trường phát xạ, đề cập đến hiện tượng khi một trường điện mạnh được áp dụng lên một cực tích điện (yếu tố phát xạ electron) có đầu nhọn, thì sẽ phát ra mật độ cao các electron. Ở nhiệt độ phòng, công nghệ FE cung cấp một chùm electron có mật độ gần 1.000 lần lớn hơn so với các cực tích electron thông thường sử dụng nguyên tắc nhiệt điện (như cực tungsten gắn tóc).
Công nghệ FE đã được áp dụng trong việc phát triển nguồn electron cho các kính hiển vi quét điện tử siêu cao độ phân giải. Điều quan trọng để công nghệ này có thể được ứng dụng trong thực tế là ổn định quá trình phát xạ. Từ khi Hitachi thực hiện thành công việc ứng dụng công nghệ trường phát xạ lạnh vào một kính hiển vi SEM thương mại đầu tiên vào năm 1972, hãng đã nghiên cứu và áp dụng công nghệ chân không siêu cao để bảo quản phần phát xạ electron, và từ đó đã tạo ra khả năng sử dụng trường phát xạ lạnh cho hình ảnh siêu cao độ phân giải trong những dòng kính hiển vi SEM tiên tiến nhất hiện nay, như dòng sản phẩm SU8600 và SU9000.
Nhờ những nỗ lực này, trong thế hệ mới nhất của máy quét điện tử (SEM) với nguồn nhiệt phân tử đều từ trường (CFE) (SU8600 và SU9000), Hitachi đã cải tiến điều kiện siêu chân không của khẩu súng điện tử. Điều này làm chậm quá trình phủ bề mặt đầu kim FE bằng các phân tử khí đến mức FE-SEM hiện có thể hoạt động ở trạng thái đầu kim thực sự sạch trong nhiều giờ.
Ưu điểm: Dòng điện phát ra cao hơn và ổn định hơn, không có hiện tượng trôi của nguồn electron ảo và do đó không cần điều chỉnh lại trục tiêu.
Ngoài ra, Hitachi đã phát triển công nghệ "mild flashing" được cấp bằng sáng chế. Công nghệ này được thực hiện tự động nền tảng để làm sạch nhẹ nhàng nguồn nhiệt phân tử đều từ trường (FE source) định kỳ trong khi vẫn giữ mức điện áp cao. Điều này cho phép hoạt động liên tục ổn định của nguồn nhiệt phân tử đều từ trường lạnh mới trong suốt giờ làm việc.
Mild flashing®
Trình tự tự động Mild flashing® chạy với HV bật ở nền.
Tóm tắt các ưu điểm của trường lạnh mới của chúng tôi:
Hiện nay, có hai loại nguồn phân tử đều từ trường lạnh và nguồn Schottky đã được thiết lập trên thị trường. Nguồn Schottky - thường hoạt động ở nhiệt độ cao khoảng 1.700K - là lựa chọn tốt cho các ứng dụng tổng quát tập trung vào công việc phân tích sử dụng dòng chùm lớn và ổn định. Tuy nhiên, kích thước nguồn electron hiệu quả và phạm vi năng lượng rộng của các electron phát ra nghiêm trọng hạn chế độ phân giải có thể đạt được. Hơn nữa, việc cần thay thế nguồn Schottky sau khoảng 1 năm là một yếu tố chi phí đáng kể trong hoạt động FE-SEM.
*****************************************************************
Để được tư vấn và biết thêm thông tin chi tiết, xin vui lòng liên hệ:
Công ty TNHH Sao Đỏ Việt Nam
