HITACHI S-4800: THIẾT BỊ TIÊN TIỀN PHỤC VỤ NGHIÊN CỨU VẬT LIỆU KÍCH THƯỚC NANO
Đồ Hùng Mạnh, Phan Ngọc Minh
Viện Khoa học Vật liệu, Viện Khoa học và Công nghệ Việt Nam
18 Hoàng Quốc Việt, quận Cầu Giấy. Hà Nội; Email: manhdh@ims.vast.ac.vn
Tóm tắt. Bải viết giới thiệu khái quát về quá trình phát triển, những khả năng ứng dụng của kính hiển vi điện tử quét và các ưu điểm vượt trội của loại kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường (FESEM). Kính hiển vi điện tử quét phát xạ trường Hitachi S-4800 ra đời trong vài năm gần đây là loại kính có độ phân giải cao nhờ sử dụng loại súng phát xạ điện tử trường lạnh và những tiến bộ mới nhất trong các kỹ thuật chế tạo thấu kính điện tử, các kỹ thuật chân không cũng như các kỹ thuật điện tử tiên tiến. Sau hơn hai năm đưa vào sử dụng tại Phòng Thí nghiệm Trọng điểm Quốc gia Vật liệu và Linh kiện điện tử, Viện Khoa học Vật liệu, loại kính này đã chứng tỏ là một công cụ hiệu quả, đa năng để nghiên cứu và quan sát nhanh vật liệu ở kích thước nanomét.
