| Type | Spin coater system |
| Substrate size | piece ~ up to 12" circle / 500x500mm |
| Rotation speed | 300 ~ 5,000rpm / ~2,000rpm (@without load) , Error rate ≤1% |
| AC Servo Motor | |
| Spin state | 50steps, 20recipes (digital type) |
| Bowl | Stainless steel / Stainless steel, Chuck cover type |
| Acceleration / Deceleration rate | Variable |
| Chuck material | Anodized AL, Acetal |
| Electric power | 220V, 5A / 10A |
| Oilless vacuum pump pressure | -650mmHg |
| Dimensions (mm) | Customized |
| Options | Number of Dispenser nozzle |
| Type of chemical | |
| Drain type | |
| etc. |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
