| Type | Spin coater system |
| Substrate size | piece ~ up to 8" circle |
| Rotation speed | 300 ~ 8,000rpm(@without load) an error of less than 1% |
| AC Servo Motor(100W/400W) | |
| Spin state | 50steps, 20recipes (digital type) |
| Bowl size | 12", Stainless steel |
| Acceleration / Deceleration rate | Variable |
| Chuck material | Anodized AL, Acetal |
| Electric power | 220V, 5A |
| Oiless vacuum pump pressure | 650mmHg |
| Options | Number of Dispenser nozzle |
| Type of chemical | |
| Drain type |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
