| Type | Spin coater system |
| Substrate size | piece ~ up to 12" circle |
| Rotation speed | Max. 5,000 rpm |
| AC Servo Motor | |
| Spin state | 20steps, 20recipes (digital type) |
| Acceleration / Deceleration rate | Variable |
| Chuck material | Anodized AL |
| Electric power | 220V, 5A |
| Oilless vacuum pump pressure | -650mmHg |
| Dimensions(mm) | 650 x 945 x 1200 |
| Options | Number of Dispenser nozzle |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
