Type | Spin coater system |
Substrate size | piece ~ up to 8" circle |
Rotation speed | 300 ~ 8,000rpm(@without load) an error of less than 1% |
AC Servo Motor(100W/400W) | |
Spin state | 50steps, 20recipes (digital type) |
Bowl size | 12", Stainless steel |
Acceleration / Deceleration rate | Variable |
Chuck material | Anodized AL, Acetal |
Electric power | 220V, 5A |
Oiless vacuum pump pressure | -650mmHg |
Dimensions(mm) | 390(D)x570(W)x400(H) |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.