Type | Spin coater system |
Substrate size | piece ~ up to 4" circle |
Rotation speed | 300 ~ 7,000rpm(@without load) an error of less than 1% |
DC Servo Motor | |
Spin state | 50steps, 20recipes (digital type) |
Bowl size | 8", P.P |
Acceleration / Deceleration rate | Variable |
Chuck material | Anodized AL, Acetal |
Electric power | 220V, 5A |
Oiless vacuum pump pressure | -650mmHg |
Dimensions(mm) | 230(D)x340(W)x260(H) |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.