Easy operation UI
PC Operation with PLC control
Image grab & Data log
More than 100 Program recipes
| Type | Manual (Mask Aligner) |
| Mask size | up to 7" x 7" |
| Substrate size | piece to 6" |
| UV lamp & Power | 500W, 1kW & Digital power supply |
| Uniform beam size | 6.25" x 6.25 |
| Beam Uniformity | <±5% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | ~50mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ (motorized) |
| Options | CCD BSA |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
