| Kiểu | Kiểm soát bằng máy tính bán tự động |
| Kích thước mặt nạ | lên đến 7 "x 7" |
| Kích thước bề mặt | mảnh đến 6 "x 6" |
| Đèn UV & Nguồn điện | 1kW & Nguồn cấp điện |
| Kích thước Chùm tia đồng nhất | 7,25 "x 7,25" |
| Chùm tia đồng nhất | <± 5% |
| Bước sóng chùm tia | 350 ~ 450nm |
| Cường độ bước sóng 365nm | 15 ~ 25mW / cm2 |
| Độ chính xác cân chỉnh | 1um |
| Độ phân giải xử lý | 1um @ 1um PR với độ dày tiếp xúc chân không |
| Chế độ xử lý | Mềm, cứng, hút chân không tiếp xúc& tiệm cận |
| Di chuyển | x, y (Chỉnh tayl), z, θ (động cơ) |
| Tùy chọn | CCD BSA |
| đo cường độ tia cực tím | |
| vv | |
| Khung | bảng chống rung |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
