| Type | Joystick control Semi-Auto (Mask Aligner) |
| Mask size | up to 13" x 13" |
| Substrate size | piece to 12" x 12" |
| UV lamp & Power | 2kW & power supply |
| 5kW & Power supply | |
| Uniform beam size | 13.25" x 13.25" |
| Beam Uniformity | <±5% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | 15 ~ 20mW/cm2 (2kW) |
| 25 ~ 60mW/cm2 (5kW) | |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ (Motorized) |
| Frame | Anti-Vibration system |
| Options | CCD BSA |
| UV Intensity meter | |
| etc. |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
