| Kiểu | Hoàn toàn tự động (Mask Aligner) |
| Kích thước mặt nạ | lên đến 14 "x 14" |
| Kích thước bề mặt | 12 "vòng tròn |
| Đèn UV & Nguồn điện | đèn 5kW và Nguồn cấp điện |
| Kích thước Chùm tia đồng nhất | 13.25 "x 13.25" |
| Chùm tia đồng nhất | <± 5% |
| Bước sóng chùm tia | 350 ~ 450nm |
| Cường độ bước sóng 365nm | 25 ~ 60mW / cm2 (5kW) |
| Độ chính xác cân chỉnh | 1um |
| Độ phân giải xử lý | 1um @ 1um PR với độ dày tiếp xúc chân không |
| Chế độ xử lý | Mềm, cứng, hút chân không tiếp xúc& tiệm cận |
| Di chuyển | x, y, z và θ (động cơ) |
| Pre-Aligner | ± 50um |
| Khung | Hệ thống chống rung |
| Tùy chọn | đo cường độ tia cực tím |
| vv |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
