Thân máy của FlexSEM 1000 có kích thước là 450(W) x 640(D)mm, nhỏ hơn 52%, nhẹ hơn 45%, tiết kiệm hơn 50% năng lượng sơ với loại kính hiển vi điện tử quét phổ thông. Bên cạnh đó, thiết bị này chỉ yêu cầu nguồn điện dân dụng phổ thông AC100V 3P. Thân máy có thể tách rời bộ phần cấp nguồn để tiết kiệm diện tích, nâng cao khả năng linh hoạt trong di chuyển.
FlexSEM 1000 đạt được độ phân giải đến 4nm bằng hệ thống quang học điện tử được thiết kế mới cùng với loại đầu dò độ nhạy cao được sử dụng ở những dòng sản phẩm cao cấp hơn đã được thị trường công nhận.
Giao diện người dùng vô cùng dễ sử dụng kể cả với người còn ít kinh nghiệm, vô số tính năng tự động cùng quá trình thu thập thông tin nhanh, chất lượng cao có thể đạt được ngay lập tức mà không phụ thuộc vào kinh nghiệm của người dùng.
Kính hiển vi điện tử quét áp suất biến đổi (VP-SEM) FlexSEM 1000
● Thiết kế nhỏ gọn (rộng 45 cm) với độ phân giải 4nm
● Giao diện sử dụng trực quan, chụp ảnh chất lượng cao không phụ thuộc vào kinh nghiệp người dùng
● Chức năng điều hướng tiên tiến SEM MAP, giúp quan sát toàn bộ trường nhìn và định vị vị trí quan tâm nhanh chóng
● Đầu dò phân tích phổ tán xạ nặng tia X (EDS) công nghệ SDD có tiết diện phân tích lớn (30mm2), giúp thu thập thông tin tốc độ cao (chọn thêm)
Chức năng lấy nét và chỉnh sáng tối tự động tốc độ cao giúp rút ngắn thời gian chờ xuống còn 1/3 so với thiết bị truyền thống
Phân giải |
4nm tại 20kV (SE: chân không cao) |
15.0nm tại 1kV (SE: chân không cao) |
|
5.0nm tại 20kV (BSE: chân không thấp) |
|
Thế gia tốc |
0.3 đến 20kV |
Độ phóng đại |
6 đến 300.000 lần (on photo) |
16 đến 800.000 lần (trên màn hình máy tính) |