Để quan sát được cấu trúc tế vi của một vật liệu, chúng tôi sử dụng thiết bị chuẩn bị mẫu bằng chùm tia ion Arblade 5000 của Hitachi. Bằng việc dùng chùm tia ion A năng lượng thấp để mài, đánh bóng bề mặt mẫu giúp ta quan sát được cấu trúc tế vi của vật liệu.