Các công cụ công nghệ nano chẳng hạn như: chất bán dẫn, điện tử, xúc tác và các vật liệu chức năng khác, công nghệ sinh học và dược phẩm,... đang được nghiên cứu trên toàn thế giới như là năng lực nòng cốt của các thế hệ công nghệ tiên tiến tiếp theo. FE-SEM độ phân giải cao đã trở thành công cụ không thể thiếu để quan sát cấu trúc bề mặt của vật liệu trong hầu hết các lĩnh vực công nghệ nano.
Hitachi High-Tech đã phát minh dòng sản phẩm mới là SU8010 đáp ứng nhu cầu thị trường đang cần.
Dòng sản phẩm mới SU8000 Series cho ảnh độ phân giải cực cao, và cung cấp bệ mẫu, buồng mẫu và hệ thống đầu dò đa dạng đáp ứng nhiều nhu cầu của khách hàng cần kính hiển vi độ phân giải cao.