Thiết bị xóa tia sử dụng cổng PCD ở bên cạnh cột (đối diện với khẩu độ cuối cùng) và sẽ hoạt động ở công suất tối đa 40KV với thời gian bật / tắt khoảng 50nS. Ngoài ra còn có một đầu dò tích hợp.

Các tấm lệch có thể được lắp đặt trên trục của cột hoặc có thể lấy ra khi không cần thiết. Các tấm này được làm từ đồng photphor phủ vàng coban, đảm bảo rằng hoạt động của SEM không bị ảnh hưởng. Chiều dài và cách phân loại của các tấm đã được chọn để mang lại hiệu quả xóa chùm tia tối ưu trên điện áp từ 1kV đến 40kV.

Hệ thống xóa chùm tia hoàn chỉnh bao gồm một bộ chuyển đổi cổng PCD với tấm xóa tia có thể thu vào và trình điều khiển xung tích hợp. Một bộ nguồn điều khiển từ xa cho trình điều khiển xung và bộ điều khiển máy tính để bàn nhỏ gọn.

Một giao diện RS-232 tùy chọn cho phép điều khiển hệ thống xóa chùm tia trực tiếp từ kính hiển vi điều khiển bằng máy tính hoặc từ hệ thống quang khắc điện tử tự động.

Ứng dụng

Khả năng tương thích