Easy operation & Installation
PC Operation with PLC control
Image grab & Data log
More than 100 Program recipes
| Type | PC control semi auto |
| Mask size | up to 7" x 7" |
| Substrate size | piece to 6" x 6" |
| UV lamp & Power | 1kW & power supply |
| Uniform beam size | 7.25" x 7.25" |
| Beam Uniformity | <±5% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | 15 ~ 25mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y(Manual), z, θ (Motorized) |
| Options | CCD BSA |
| UV Intensity meter | |
| etc. | |
| Frame | Anti vibration table |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
