| Type | Full automatic (Mask Aligner) |
| Mask size | up to 7" x 7" |
| Substrate size | up to 6" |
| UV lamp & Power | 350W & power supply |
| Uniform beam size | 6.25" x 6.25" |
| Beam Uniformity | <±3% |
| Beam wavelength | 350 ~ 450nm |
| 365nm Intensity | ~25mW/cm2 |
| Alignment accuracy | 1um |
| Process resolution | 1um@1um PR thickness with vacuum contact |
| Process mode | Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity |
| Substrate chuck moving | x,y,z & θ (Motorized) |
| Pre-aligner | ±50um |
| Frame | Anti-Vibration system |
| Options | UV Intensity meter |
| UV-LED(365nm) exposure module | |
| etc. |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
