● Cho ảnh EBAC chất lượng cao với bộ khuếch đại vi sai chất lượng cao EBAC ba82g sáng chế của Hitachi.
● Giao diện người dùng GUI (Graphical User Interface) trực quan với nhiều ảnh và tính năng xử lý màu sắc.
● Phạm vi xác định, quang sai thấp, súng điện tử Phát Trường Lạnh (CFE) để thu ảnh ở điện thế thấp và giảm sự phá hủy của chùm tia cho mạch điện.
● Đầu dò nano có độ chính xác cao.
● Vị trí thô của đầu dò được giám sát bằng một hệ thống máy quay CCD đặt bên trong buồng mẫu.
Kỹ thuật EBAC là phương pháp nhanh chóng và hiệu quả xác định liên kết hở, điện trở cao và ngắn mạch mà không cần kỹ thuật gắn đầu dò trực tiếp vào lớp cấp thấp hơn. EBAC tối ưu hóa chùm tia điện tử đi qua hai lớp điện tử cho phép lớp kim loại bên dưới hấp thụ dòng điện của chùm điện tử. Điện áp gia tốc của bộ điều khiển FESEM kiểm soát độ sâu đo đạc qua hai lớp điện tử. Một đầu đo đặt trên lớp màng bên trên để khép kín mạch và để cho điện tử đi qua liên kết. Quan sát điện trở cao và ngắn mạch gây ra bởi hiệu ứng Seebeck có thể được thực hiện bằng cách sử dụng hai đầu đo và bằng sáng chế của Hitachi là bộ khuếch đại vi sai EBAC.
Hình ảnh EBAC của liên kết 4 lớp nhôm dùng tính năng hiển thị màu.
*Hình ảnh bộ khuếch đại dòng điện
Hệ thống đặc tính hóa hấp thụ dòng điện bằng chùm tia điện tử Hitachi (EBAC) nanoEBAC NE4000
|
Đầu dò |
|
|
Số bộ |
4 |
|
Phương pháp điều khiển |
Con rung Piezoelectric |
|
Tầm chuyển động nhỏ nhất |
5 µm (X,Y) |
|
Tầm chuyển động thô |
6 mm (X,Y) |
|
Bàn mẫu / Chân bàn |
|
|
Kích thước mẫu |
25 mm × 25 mm × 1 mm dày hay thấp hơn |
|
Vị trí dịch chuyển |
Vị trí thay Phép đo/Mẫu |
|
Trao đổi mẫu |
Buồng thay mẫu có khóa không khí |
|
Dịch huyển đầu dò |
Bàn mẫu di chuyển đến vị trí đo |
|
Bộ nhớ vị trí đo |
|
|
Đầu dò chỉnh thô |
|
|
Hiển thị ảnh CCD |
Hình ảnh hiển thị từ cạnh bên |
|
Hệ quang học điện tử |
|
|
Súng điện tử |
Nguồn phát điện tử trường lạnh |
|
Điện áp gia tốc |
0.5 kV to 30 kV |
|
Độ phân giải |
15 nm (at 2 kV, WD=15 mm) |
|
Dịch chuyển ảnh |
±150 µm (at 2 kV, WD=15 mm) |
|
Bộ khuếch đại EBAC / Hiển thị hình ảnh |
|
|
Loại khuếch đại |
Khuếch đại dòng điện/ Vi sai |
|
Hiển thị hình ảnh |
SEM / EBAC (Đơn lẻ /Song song/Chồng lấp) |
|
Xử lý hình ảnh |
Hiển thị tái tạo đen và trắng, hiển thị màu, quét tích phân chậm, quét đai |
Kích thước và trọng lượng
|
Thân máy |
1,100 (W) × 1,550 (D) × 1,750 (H) mm, 850 kg |
|
Bộ hiển thị |
1,000 (W) × 1,005 (D) × 1,200 (H) mm, 265 kg |
Yêu cầu về hạ tầng lắp đặt
|
Nhiệt độ phòng |
15 - 25 °C |
|
Độ ẩm |
60% RH hay thấp hơn |
|
Nguồn điện |
AC100 V±10% 5 kVA (đầu cắm M5 có khía) |
|
Nối đất |
100Ω hay thấp hơn |
Hiện tại chưa có ý kiến đánh giá nào về sản phẩm. Hãy là người đầu tiên chia sẻ cảm nhận của bạn.
